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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品 已有11人参与

请问  SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品?大家是怎样切割的,请发的详细些。谢谢回复!
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-12-25 14:37:34
是硅片上有铁电材料。
...

铁电材料PZT 图形大小100um,调整了不同的刻蚀角度,想看刻蚀侧壁的陡直度情况。
SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品
5th(30度) 300nm 刻蚀洗胶(600V,100mA,10min)后 a(100倍)物镜.jpg

8楼2015-12-25 14:45:36
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查看全部 28 个回答

jhwang2010

银虫 (正式写手)

2楼2015-12-24 22:28:38
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491406219

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般是氩离子刻蚀,好的仪器自带刻蚀功能,表面刻蚀后再扫描观察表面。

发自小木虫Android客户端
just be yourself
3楼2015-12-25 00:14:16
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-12-24 22:28:38
线切割

线切割可能会很大程度上伤害我的样品。毕竟图形只有微米级别

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-25 09:26:29
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