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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品 已有11人参与

请问  SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品?大家是怎样切割的,请发的详细些。谢谢回复!
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491406219

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般是氩离子刻蚀,好的仪器自带刻蚀功能,表面刻蚀后再扫描观察表面。

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just be yourself
3楼2015-12-25 00:14:16
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jhwang2010

银虫 (正式写手)

2楼2015-12-24 22:28:38
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-12-24 22:28:38
线切割

线切割可能会很大程度上伤害我的样品。毕竟图形只有微米级别

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-25 09:26:29
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 491406219 at 2015-12-25 00:14:16
一般是氩离子刻蚀,好的仪器自带刻蚀功能,表面刻蚀后再扫描观察表面。

是的!但是刻蚀后怎样观察图形的横截面是个麻烦事。

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5楼2015-12-25 09:27:43
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