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勿忘心安里

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[交流] SEM测刻蚀后的样品横截面，怎样切割样品已有11人参与

请问 SEM测刻蚀后的样品横截面，怎样切割样品？大家是怎样切割的，请发的详细些。谢谢回复！

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1楼 2015-12-24 21:09:11

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yswyx

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硅片的话很容易啊。按照解理面裂开就好。
如果不是硅片，那你要告诉我什么材料，刻蚀结构是啥样的

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6楼2015-12-25 12:34:02

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查看全部 28 个回答

jhwang2010

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线切割

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2楼2015-12-24 22:28:38

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491406219

银虫 (小有名气)

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一般是氩离子刻蚀，好的仪器自带刻蚀功能，表面刻蚀后再扫描观察表面。

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just be yourself

3楼2015-12-25 00:14:16

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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-12-24 22:28:38
线切割

线切割可能会很大程度上伤害我的样品。毕竟图形只有微米级别

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4楼2015-12-25 09:26:29

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查看全部 28 个回答

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