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frankie1

新虫 (初入文坛)

[求助] 单晶硅基板xrd结果出现杂峰,求助!已有1人参与

普通薄膜xrd扫描,单晶硅111基板,如图所示在39度出现了一个强度很小的峰,对不上相应的晶面,不知道怎么解释!还请大牛帮助

单晶硅基板xrd结果出现杂峰,求助!
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frankie1

新虫 (初入文坛)

顶上去,这会没人看帖子么?
2楼2015-06-21 14:04:03
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whd博士

木虫 (著名写手)

出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索,然后尝试比对。你这里说了基板材料,但是没说薄膜是什么材料,大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。
3楼2015-06-22 00:11:45
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frankie1

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 00:11:45
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索,然后尝试比对。你这里说了基板材料,但是没说薄膜是什么材料,大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。

非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已,没有做处理,所以表面应该是无任何东西的,例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的,计算过,但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。
4楼2015-06-22 07:40:12
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frankie1

新虫 (初入文坛)

5楼2015-06-22 07:42:07
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
4楼: Originally posted by frankie1 at 2015-06-22 07:40:12
非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已,没有做处理,所以表面应该是无任何东西的,例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的,计算过,但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。...

我看了下你的数据。主峰的强度都超过4W了,相比之下你这个峰是不是有点太小了,赶脚可以认为是背底之一。另外,以前做过Si(100)的单晶基片衍射峰,只能体现出最强峰,但是你的材料在很窄的角度范围内出现了多个强峰,赶脚这材料不像是单晶。。。。。。因为单晶材料基本可以看作有择优取向的材料,其衍射与普通粉末多晶衍射有所区别。
6楼2015-06-22 09:14:40
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frankie1

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 09:14:40
我看了下你的数据。主峰的强度都超过4W了,相比之下你这个峰是不是有点太小了,赶脚可以认为是背底之一。另外,以前做过Si(100)的单晶基片衍射峰,只能体现出最强峰,但是你的材料在很窄的角度范围内出现了多个强 ...

确实当时也有这个疑虑,恰恰是有这些峰才让后面处理过后的实验结果产生了更多的疑虑,不过这个基板确实是单晶,而且择优取向还是比较明显的111,结果中多处峰都能通过二三级衍射峰,Kβ峰等解释清楚,唯独这个39峰,怎么想都解释不通,强度有时候会相对强一些,不过大多时候相比111还是要弱的多。你的这句话我不是很理解,赶脚可以认为是背底之一,是不是说背底也是有峰的,只不过相对较小?还是说因为反射衍射过程中一些光学原因导致的峰?
7楼2015-06-22 11:41:44
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whd博士

木虫 (著名写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
frankie1(红舟流星代发): 金币+20, 代扣代发金币 2015-06-23 00:30:11
引用回帖:
7楼: Originally posted by frankie1 at 2015-06-22 11:41:44
确实当时也有这个疑虑,恰恰是有这些峰才让后面处理过后的实验结果产生了更多的疑虑,不过这个基板确实是单晶,而且择优取向还是比较明显的111,结果中多处峰都能通过二三级衍射峰,Kβ峰等解释清楚,唯独这个39峰 ...

是这样的,由于仪器噪声等问题,造成在测试过程中XRD图谱存在一个背底,这个背底实际上会淹没掉衍射图谱中部分小的峰。这种情况在非晶材料基底上镀膜的情况下就比较明显。你的测试数据中基底背景有200上下,这个峰的峰值也就不到四百,跟主峰相比相差实在太多。如果基体材料不作为主要研究的话,一般就给略去归到基底中了。另外,单晶样品在测试XRD的时候,对放置要求还是蛮高的,有时候存在的倾斜等放置问题,会造成峰形畸变甚至消失。另外,硅片本身的质量问题也会造成一些小的峰,这个网上有,你可以去看看。至于你样品衍射图谱,我查了下其它文献的Si(111)的衍射图谱,跟你的好像有点差别。。。。。。

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8楼2015-06-22 13:32:08
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frankie1

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 13:32:08
是这样的,由于仪器噪声等问题,造成在测试过程中XRD图谱存在一个背底,这个背底实际上会淹没掉衍射图谱中部分小的峰。这种情况在非晶材料基底上镀膜的情况下就比较明显。你的测试数据中基底背景有200上下,这个峰 ...

非常感谢你花时间在这个问题上,非常感谢你的帮助,那个小峰有可能是铝的。
9楼2015-06-22 14:08:05
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