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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！
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frankie1

新虫 (初入文坛)

[求助] 单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！ 已有1人参与

普通薄膜xrd扫描，单晶硅111基板，如图所示在39度出现了一个强度很小的峰，对不上相应的晶面，不知道怎么解释！还请大牛帮助

单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！
xrd result
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1楼 2015-06-21 12:12:16
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frankie1

新虫 (初入文坛)
顶上去，这会没人看帖子么？
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2楼2015-06-21 14:04:03
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whd博士

木虫 (著名写手)
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索，然后尝试比对。你这里说了基板材料，但是没说薄膜是什么材料，大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。
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3楼2015-06-22 00:11:45
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frankie1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 00:11:45
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索，然后尝试比对。你这里说了基板材料，但是没说薄膜是什么材料，大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。

非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已，没有做处理，所以表面应该是无任何东西的，例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的，计算过，但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。
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4楼2015-06-22 07:40:12
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frankie1

新虫 (初入文坛)
http://pan.baidu.com/s/179Ehg
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5楼2015-06-22 07:42:07
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
4楼: Originally posted by frankie1 at 2015-06-22 07:40:12
非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已，没有做处理，所以表面应该是无任何东西的，例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的，计算过，但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。...

我看了下你的数据。主峰的强度都超过4W了，相比之下你这个峰是不是有点太小了，赶脚可以认为是背底之一。另外，以前做过Si（100）的单晶基片衍射峰，只能体现出最强峰，但是你的材料在很窄的角度范围内出现了多个强峰，赶脚这材料不像是单晶。。。。。。因为单晶材料基本可以看作有择优取向的材料，其衍射与普通粉末多晶衍射有所区别。
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6楼2015-06-22 09:14:40
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frankie1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 09:14:40
我看了下你的数据。主峰的强度都超过4W了，相比之下你这个峰是不是有点太小了，赶脚可以认为是背底之一。另外，以前做过Si（100）的单晶基片衍射峰，只能体现出最强峰，但是你的材料在很窄的角度范围内出现了多个强 ...

确实当时也有这个疑虑，恰恰是有这些峰才让后面处理过后的实验结果产生了更多的疑虑，不过这个基板确实是单晶，而且择优取向还是比较明显的111，结果中多处峰都能通过二三级衍射峰，Kβ峰等解释清楚，唯独这个39峰，怎么想都解释不通，强度有时候会相对强一些，不过大多时候相比111还是要弱的多。你的这句话我不是很理解，赶脚可以认为是背底之一，是不是说背底也是有峰的，只不过相对较小？还是说因为反射衍射过程中一些光学原因导致的峰？
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7楼2015-06-22 11:41:44
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whd博士

木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
frankie1(红舟流星代发): 金币+20, 代扣代发金币 2015-06-23 00:30:11
引用回帖:
7楼: Originally posted by frankie1 at 2015-06-22 11:41:44
确实当时也有这个疑虑，恰恰是有这些峰才让后面处理过后的实验结果产生了更多的疑虑，不过这个基板确实是单晶，而且择优取向还是比较明显的111，结果中多处峰都能通过二三级衍射峰，Kβ峰等解释清楚，唯独这个39峰 ...

是这样的，由于仪器噪声等问题，造成在测试过程中XRD图谱存在一个背底，这个背底实际上会淹没掉衍射图谱中部分小的峰。这种情况在非晶材料基底上镀膜的情况下就比较明显。你的测试数据中基底背景有200上下，这个峰的峰值也就不到四百，跟主峰相比相差实在太多。如果基体材料不作为主要研究的话，一般就给略去归到基底中了。另外，单晶样品在测试XRD的时候，对放置要求还是蛮高的，有时候存在的倾斜等放置问题，会造成峰形畸变甚至消失。另外，硅片本身的质量问题也会造成一些小的峰，这个网上有，你可以去看看。至于你样品衍射图谱，我查了下其它文献的Si（111）的衍射图谱，跟你的好像有点差别。。。。。。
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frankie1
8楼2015-06-22 13:32:08
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frankie1

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 13:32:08
是这样的，由于仪器噪声等问题，造成在测试过程中XRD图谱存在一个背底，这个背底实际上会淹没掉衍射图谱中部分小的峰。这种情况在非晶材料基底上镀膜的情况下就比较明显。你的测试数据中基底背景有200上下，这个峰 ...

非常感谢你花时间在这个问题上，非常感谢你的帮助，那个小峰有可能是铝的。
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9楼2015-06-22 14:08:05
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