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单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！ 已有1人参与
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普通薄膜xrd扫描，单晶硅111基板，如图所示在39度出现了一个强度很小的峰，对不上相应的晶面，不知道怎么解释！还请大牛帮助 xrd result |
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2楼2015-06-21 14:04:03
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frankie1(红舟流星代发): 金币+20, 代扣代发金币 2015-06-23 00:30:11
frankie1(红舟流星代发): 金币+20, 代扣代发金币 2015-06-23 00:30:11
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是这样的，由于仪器噪声等问题，造成在测试过程中XRD图谱存在一个背底，这个背底实际上会淹没掉衍射图谱中部分小的峰。这种情况在非晶材料基底上镀膜的情况下就比较明显。你的测试数据中基底背景有200上下，这个峰的峰值也就不到四百，跟主峰相比相差实在太多。如果基体材料不作为主要研究的话，一般就给略去归到基底中了。另外，单晶样品在测试XRD的时候，对放置要求还是蛮高的，有时候存在的倾斜等放置问题，会造成峰形畸变甚至消失。另外，硅片本身的质量问题也会造成一些小的峰，这个网上有，你可以去看看。至于你样品衍射图谱，我查了下其它文献的Si（111）的衍射图谱，跟你的好像有点差别。。。。。。 |
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frankie18楼2015-06-22 13:32:08
9楼2015-06-22 14:08:05
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