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frankie1

新虫 (初入文坛)

[求助] 单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！ 已有1人参与

普通薄膜xrd扫描，单晶硅111基板，如图所示在39度出现了一个强度很小的峰，对不上相应的晶面，不知道怎么解释！还请大牛帮助

单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！
xrd result
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1楼 2015-06-21 12:12:16
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frankie1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 09:14:40
我看了下你的数据。主峰的强度都超过4W了，相比之下你这个峰是不是有点太小了，赶脚可以认为是背底之一。另外，以前做过Si（100）的单晶基片衍射峰，只能体现出最强峰，但是你的材料在很窄的角度范围内出现了多个强 ...

确实当时也有这个疑虑，恰恰是有这些峰才让后面处理过后的实验结果产生了更多的疑虑，不过这个基板确实是单晶，而且择优取向还是比较明显的111，结果中多处峰都能通过二三级衍射峰，Kβ峰等解释清楚，唯独这个39峰，怎么想都解释不通，强度有时候会相对强一些，不过大多时候相比111还是要弱的多。你的这句话我不是很理解，赶脚可以认为是背底之一，是不是说背底也是有峰的，只不过相对较小？还是说因为反射衍射过程中一些光学原因导致的峰？
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7楼2015-06-22 11:41:44
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frankie1

新虫 (初入文坛)
顶上去，这会没人看帖子么？
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2楼2015-06-21 14:04:03
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whd博士

木虫 (著名写手)
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索，然后尝试比对。你这里说了基板材料，但是没说薄膜是什么材料，大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。
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3楼2015-06-22 00:11:45
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frankie1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 00:11:45
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索，然后尝试比对。你这里说了基板材料，但是没说薄膜是什么材料，大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。

非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已，没有做处理，所以表面应该是无任何东西的，例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的，计算过，但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。
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4楼2015-06-22 07:40:12
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