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frankie1

新虫 (初入文坛)

[求助] 单晶硅基板xrd结果出现杂峰,求助!已有1人参与

普通薄膜xrd扫描,单晶硅111基板,如图所示在39度出现了一个强度很小的峰,对不上相应的晶面,不知道怎么解释!还请大牛帮助

单晶硅基板xrd结果出现杂峰,求助!
xrd result
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frankie1

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 09:14:40
我看了下你的数据。主峰的强度都超过4W了,相比之下你这个峰是不是有点太小了,赶脚可以认为是背底之一。另外,以前做过Si(100)的单晶基片衍射峰,只能体现出最强峰,但是你的材料在很窄的角度范围内出现了多个强 ...

确实当时也有这个疑虑,恰恰是有这些峰才让后面处理过后的实验结果产生了更多的疑虑,不过这个基板确实是单晶,而且择优取向还是比较明显的111,结果中多处峰都能通过二三级衍射峰,Kβ峰等解释清楚,唯独这个39峰,怎么想都解释不通,强度有时候会相对强一些,不过大多时候相比111还是要弱的多。你的这句话我不是很理解,赶脚可以认为是背底之一,是不是说背底也是有峰的,只不过相对较小?还是说因为反射衍射过程中一些光学原因导致的峰?
7楼2015-06-22 11:41:44
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frankie1

新虫 (初入文坛)

顶上去,这会没人看帖子么?
2楼2015-06-21 14:04:03
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whd博士

木虫 (著名写手)

出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索,然后尝试比对。你这里说了基板材料,但是没说薄膜是什么材料,大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。
3楼2015-06-22 00:11:45
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frankie1

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 00:11:45
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索,然后尝试比对。你这里说了基板材料,但是没说薄膜是什么材料,大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。

非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已,没有做处理,所以表面应该是无任何东西的,例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的,计算过,但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。
4楼2015-06-22 07:40:12
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