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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！
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frankie1

新虫 (初入文坛)

[求助] 单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！ 已有1人参与

普通薄膜xrd扫描，单晶硅111基板，如图所示在39度出现了一个强度很小的峰，对不上相应的晶面，不知道怎么解释！还请大牛帮助

单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！
xrd result
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1楼 2015-06-21 12:12:16
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
4楼: Originally posted by frankie1 at 2015-06-22 07:40:12
非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已，没有做处理，所以表面应该是无任何东西的，例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的，计算过，但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。...

我看了下你的数据。主峰的强度都超过4W了，相比之下你这个峰是不是有点太小了，赶脚可以认为是背底之一。另外，以前做过Si（100）的单晶基片衍射峰，只能体现出最强峰，但是你的材料在很窄的角度范围内出现了多个强峰，赶脚这材料不像是单晶。。。。。。因为单晶材料基本可以看作有择优取向的材料，其衍射与普通粉末多晶衍射有所区别。
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6楼2015-06-22 09:14:40
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frankie1

新虫 (初入文坛)
顶上去，这会没人看帖子么？
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2楼2015-06-21 14:04:03
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whd博士

木虫 (著名写手)
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索，然后尝试比对。你这里说了基板材料，但是没说薄膜是什么材料，大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。
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3楼2015-06-22 00:11:45
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frankie1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by whd博士 at 2015-06-22 00:11:45
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索，然后尝试比对。你这里说了基板材料，但是没说薄膜是什么材料，大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。

非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已，没有做处理，所以表面应该是无任何东西的，例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的，计算过，但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。
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4楼2015-06-22 07:40:12
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