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frankie1

新虫 (初入文坛)

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[求助] 单晶硅基板xrd结果出现杂峰，求助！已有1人参与

普通薄膜xrd扫描，单晶硅111基板，如图所示在39度出现了一个强度很小的峰，对不上相应的晶面，不知道怎么解释！还请大牛帮助

xrd result

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1楼 2015-06-21 12:12:16

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whd博士

木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

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引用回帖:

4楼: Originally posted by frankie1 at 2015-06-22 07:40:12
非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已，没有做处理，所以表面应该是无任何东西的，例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的，计算过，但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。...

我看了下你的数据。主峰的强度都超过4W了，相比之下你这个峰是不是有点太小了，赶脚可以认为是背底之一。另外，以前做过Si（100）的单晶基片衍射峰，只能体现出最强峰，但是你的材料在很窄的角度范围内出现了多个强峰，赶脚这材料不像是单晶。。。。。。因为单晶材料基本可以看作有择优取向的材料，其衍射与普通粉末多晶衍射有所区别。