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单晶硅基板xrd结果出现杂峰,求助!
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frankie1
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]
单晶硅基板xrd结果出现杂峰,求助!
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普通薄膜xrd扫描,单晶硅111基板,如图所示在39度出现了一个强度很小的峰,对不上相应的晶面,不知道怎么解释!还请大牛帮助
xrd result
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1楼
2015-06-21 12:12:16
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frankie1
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8楼
:
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whd博士
at 2015-06-22 13:32:08
是这样的,由于仪器噪声等问题,造成在测试过程中XRD图谱存在一个背底,这个背底实际上会淹没掉衍射图谱中部分小的峰。这种情况在非晶材料基底上镀膜的情况下就比较明显。你的测试数据中基底背景有200上下,这个峰 ...
非常感谢你花时间在这个问题上,非常感谢你的帮助,那个小峰有可能是铝的。
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9楼
2015-06-22 14:08:05
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frankie1
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专业: 半导体材料
顶上去,这会没人看帖子么?
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2楼
2015-06-21 14:04:03
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性别: GG
专业: 无机非金属基复合材料
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索,然后尝试比对。你这里说了基板材料,但是没说薄膜是什么材料,大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。
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3楼
2015-06-22 00:11:45
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frankie1
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3楼
:
Originally posted by
whd博士
at 2015-06-22 00:11:45
出现杂峰可以通过单峰搜索或者元素选择进行检索,然后尝试比对。你这里说了基板材料,但是没说薄膜是什么材料,大家只看图是看不出来的。建议把原始数据放上。
非常感谢您的回答。基板只是单晶硅而已,没有做处理,所以表面应该是无任何东西的,例如薄膜。猜着应该是因为xrd机理原因或者其他原因造成的,计算过,但是这个角度的峰对应的晶面应该是消光的。原始数据在下一楼。
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4楼
2015-06-22 07:40:12
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