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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » SEM上的EDX空间分辨率是多少？
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光影浮动

新虫 (著名写手)

[求助] SEM上的EDX空间分辨率是多少？ 已有1人参与

RT，薄膜材料，700nm厚，测截面的线扫描。想知道空间分辨率是多少，有效数据范围多大。不吝赐教，谢谢！
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1楼 2015-05-27 22:35:37
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不太明白你意思，大概一个点的信息范围就是x，y向nm级别，z向微米级别，取决于元素和表面形态等等
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2楼2015-05-28 14:43:46
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