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新虫 (著名写手)

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[求助] SEM上的EDX空间分辨率是多少？已有1人参与

RT，薄膜材料，700nm厚，测截面的线扫描。想知道空间分辨率是多少，有效数据范围多大。不吝赐教，谢谢！

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1楼 2015-05-27 22:35:37

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gxytju2008

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

不太明白你意思，大概一个点的信息范围就是x，y向nm级别，z向微米级别，取决于元素和表面形态等等

2楼2015-05-28 14:43:46

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