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光影浮动

新虫 (著名写手)

[求助] SEM上的EDX空间分辨率是多少? 已有1人参与

RT,薄膜材料,700nm厚,测截面的线扫描。想知道空间分辨率是多少,有效数据范围多大。不吝赐教,谢谢!
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不太明白你意思,大概一个点的信息范围就是x,y向nm级别,z向微米级别,取决于元素和表面形态等等
2楼2015-05-28 14:43:46
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