应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于剥离（lift-off）二氧化硅的问题
141/2返回列表12下一页
查看: 2758  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 关于剥离（lift-off）二氧化硅的问题 已有5人参与

剥离金属很容易，但是每次用同样的工艺剥离二氧化硅的时候极其困难！

而且发现光刻胶似乎完全没有剥离的痕迹，求教大神~~

剥离用的丙酮
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-05-26 17:18:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

苏州研究所

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼主氧化硅是什么设备生长的，温度是多少；
氧化硅厚度多少，光刻胶厚度多少。
      我之前剥离过icp做的氧化硅，环形的结构也很好剥离，实在不行改成刻蚀也是比较
好的方案。
赞一下(1人) 回复此楼
13楼2016-09-07 11:40:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

美图半导体

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
你是用什么设备沉积的二氧化硅，是不是高温影响光刻胶，可以尝试低温ICP沉积二氧化硅。
赞一下 回复此楼
2楼2015-05-26 17:28:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
除了楼上说的沉积时高温的影响，楼主可以试试多泡一段时间，比如24小时，然后用棉签或者水粉笔刷

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
3楼2015-05-26 19:44:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
3楼: Originally posted by vincentwz at 2015-05-26 19:44:16
除了楼上说的沉积时高温的影响，楼主可以试试多泡一段时间，比如24小时，然后用棉签或者水粉笔刷

泡这么长时间？ 棉签肯定是不能刷，把金属都刷没了
赞一下 回复此楼
4楼2015-05-26 21:06:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2015-05-26 21:06:32
泡这么长时间？ 棉签肯定是不能刷，把金属都刷没了...

是的，什么金属？如果硬度比较高的话是没有问题的
赞一下 回复此楼
5楼2015-05-26 21:46:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
5楼: Originally posted by vincentwz at 2015-05-26 21:46:41
是的，什么金属？如果硬度比较高的话是没有问题的...

铜和康铜，我试过用棉棒擦，破坏了
赞一下 回复此楼
6楼2015-05-28 10:45:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
2楼: Originally posted by 美图半导体 at 2015-05-26 17:28:59
你是用什么设备沉积的二氧化硅，是不是高温影响光刻胶，可以尝试低温ICP沉积二氧化硅。

什么是低温ICP？
赞一下 回复此楼
7楼2015-05-28 10:51:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
显然在剥离的时候光刻胶化掉了，氧化硅覆盖整个光刻胶斜坡。
在金属上做氧化硅的lift off，还不如反过来做刻蚀。否则你就需要很厚的耐高温光刻胶，同时要把沉积SiO的温度降低到150度以下。
赞一下 回复此楼
8楼2015-05-28 12:46:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2015-05-28 12:46:14
显然在剥离的时候光刻胶化掉了，氧化硅覆盖整个光刻胶斜坡。
在金属上做氧化硅的lift off，还不如反过来做刻蚀。否则你就需要很厚的耐高温光刻胶，同时要把沉积SiO的温度降低到150度以下。

反过来怎么弄？我是要在金属线上的部分区域覆盖上二氧化硅，金属在下，二氧化硅在上。
赞一下 回复此楼
9楼2015-05-28 19:13:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

joy_zheng

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2015-05-28 19:13:49
反过来怎么弄？我是要在金属线上的部分区域覆盖上二氧化硅，金属在下，二氧化硅在上。...

剥离的话是先涂胶再长二氧化硅，刻蚀的话就是先长二氧化硅然后再光刻显影，不需要二氧化硅的部分暴露，然后用RIE刻蚀掉。注意在RIE过程中光刻胶也会被刻蚀，需要稍微厚点的胶，在二氧化硅刻干净后还有一定的光刻胶存留。
赞一下 回复此楼
10楼2015-05-29 17:25:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ycyzrenlifei 的主题更新
141/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +4 布布和一二 2026-08-08 4/200 2026-08-09 22:24 by otj2008
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +15 且听虎啸 2026-08-07 22/1100 2026-08-09 22:13 by 布布和一二
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +10 布布和一二 2026-08-08 21/1050 2026-08-09 17:21 by 天神眷顾
[基金申请] fileCode有新解读？ +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[考博] 【2027博士申请】纳米药物递送方向 20+3 13586093586 2026-08-03 5/250 2026-08-08 21:54 by 13586093586
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 基金中了 +14 laoda193707 2026-08-06 14/700 2026-08-08 00:23 by 实验小白ha
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 娱乐 +6 Tide man 2026-08-03 6/300 2026-08-07 22:40 by 铁帽子农民
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 听说今天filecode变了 +24 布布和一二 2026-08-06 47/2350 2026-08-07 16:02 by zhiyanjiang
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[基金申请] 有没有H口的？有收到消息的吗？ +3 超级海虾 2026-08-04 3/150 2026-08-04 17:26 by 学教育滴
[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭