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ycyzrenlifei

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专业: 传热传质学

[求助] 关于剥离（lift-off）二氧化硅的问题已有5人参与

剥离金属很容易，但是每次用同样的工艺剥离二氧化硅的时候极其困难！

而且发现光刻胶似乎完全没有剥离的痕迹，求教大神~~

剥离用的丙酮

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1楼 2015-05-26 17:18:44

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引用回帖:

8楼: Originally posted by yswyx at 2015-05-28 12:46:14
显然在剥离的时候光刻胶化掉了，氧化硅覆盖整个光刻胶斜坡。
在金属上做氧化硅的lift off，还不如反过来做刻蚀。否则你就需要很厚的耐高温光刻胶，同时要把沉积SiO的温度降低到150度以下。

反过来怎么弄？我是要在金属线上的部分区域覆盖上二氧化硅，金属在下，二氧化硅在上。