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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于剥离（lift-off）二氧化硅的问题
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淡水鱼的海洋

金虫 (正式写手)
我做ICP光刻胶碳化很严重 后来买了AZ700 很好用 你可以试试
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11楼2015-09-09 10:52:45
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3mper

新虫 (初入文坛)
这里我想请教一下，我做lift_off的时候光刻胶开裂了，怎么回事

发自小木虫Android客户端
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12楼2016-09-07 10:14:08
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苏州研究所

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼主氧化硅是什么设备生长的，温度是多少；
氧化硅厚度多少，光刻胶厚度多少。
      我之前剥离过icp做的氧化硅，环形的结构也很好剥离，实在不行改成刻蚀也是比较
好的方案。
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13楼2016-09-07 11:40:13
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一杯清茶！

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by 3mper at 2016-09-07 10:14:08
这里我想请教一下，我做lift_off的时候光刻胶开裂了，怎么回事

是不是显影的时候速度太快了
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14楼2017-04-08 22:10:27
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