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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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淡水鱼的海洋

金虫 (正式写手)

我做ICP光刻胶碳化很严重 后来买了AZ700 很好用 你可以试试
11楼2015-09-09 10:52:45
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3mper

新虫 (初入文坛)

这里我想请教一下,我做lift_off的时候光刻胶开裂了,怎么回事

发自小木虫Android客户端
12楼2016-09-07 10:14:08
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苏州研究所

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼主氧化硅是什么设备生长的,温度是多少;
氧化硅厚度多少,光刻胶厚度多少。
      我之前剥离过icp做的氧化硅,环形的结构也很好剥离,实在不行改成刻蚀也是比较
好的方案。
13楼2016-09-07 11:40:13
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一杯清茶!

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
12楼: Originally posted by 3mper at 2016-09-07 10:14:08
这里我想请教一下,我做lift_off的时候光刻胶开裂了,怎么回事

是不是显影的时候速度太快了
14楼2017-04-08 22:10:27
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