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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 有虫友知道哪里有直流磁控溅射，功率可以达到600 W左右的吗？
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竟利娟jlj

新虫 (初入文坛)

[交流] 有虫友知道哪里有直流磁控溅射，功率可以达到600 W左右的吗？ 已有8人参与

有虫友知道哪里有直流磁控溅射，功率可以达到600 W左右的吗？
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1楼 2015-05-21 10:47:27
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1142211017

金虫 (小有名气)
★
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我们实验室的磁控溅射一般都用两位数的功率，但是我觉得调到几百瓦应该是没问题的，所以我觉得正常磁控溅射应该是可以调到这个参数的
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不要做让自己看不起的事情
2楼2015-05-21 11:29:00
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竟利娟jlj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-05-21 11:29:00
我们实验室的磁控溅射一般都用两位数的功率，但是我觉得调到几百瓦应该是没问题的，所以我觉得正常磁控溅射应该是可以调到这个参数的

可不可以帮我问一下你们实验室有经验的人能调到那么高吗?拜托
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3楼2015-05-21 17:27:51
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
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我们实验室就可以啊 你要溅射什么东西》
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4楼2015-05-22 12:27:32
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)
★
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不清楚为什么肥得用600W，磁控溅射是一种视仪器而定的仪器，人家用500W，你的设备有可能用100W就可以实现。
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自强不息，厚德载物！
5楼2015-05-22 19:30:33
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安平勒

铜虫 (小有名气)
★
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应该跟仪器的参数有关吧，正常溅射电流应该适当时都处在异常辉光放电区域。如果电流一味增大，处在电弧放电区将对靶，膜层有损

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6楼2015-05-22 20:03:28
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竟利娟jlj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2015-05-22 12:27:32
我们实验室就可以啊 你要溅射什么东西》

铜，请问是哪个实验室呢？
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7楼2015-05-23 10:43:18
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竟利娟jlj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by liailong at 2015-05-22 19:30:33
不清楚为什么肥得用600W，磁控溅射是一种视仪器而定的仪器，人家用500W，你的设备有可能用100W就可以实现。

？
8楼2015-05-25 10:19:18
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
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引用回帖:
2楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-05-21 11:29:00
我们实验室的磁控溅射一般都用两位数的功率，但是我觉得调到几百瓦应该是没问题的，所以我觉得正常磁控溅射应该是可以调到这个参数的

功率大小与靶材尺寸有关，靶越大，放电面积越大，功率才能加上去。

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9楼2015-05-25 18:29:16
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竟利娟jlj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by Friend007 at 2015-05-25 18:29:16
功率大小与靶材尺寸有关，靶越大，放电面积越大，功率才能加上去。
...

呃，靶材尺寸都是固定的，功率跟电源有关
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10楼2015-05-25 22:01:14
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