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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 有虫友知道哪里有直流磁控溅射，功率可以达到600 W左右的吗？
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竟利娟jlj

新虫 (初入文坛)

[交流] 有虫友知道哪里有直流磁控溅射，功率可以达到600 W左右的吗？ 已有8人参与

有虫友知道哪里有直流磁控溅射，功率可以达到600 W左右的吗？
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1楼 2015-05-21 10:47:27
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安平勒

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该跟仪器的参数有关吧，正常溅射电流应该适当时都处在异常辉光放电区域。如果电流一味增大，处在电弧放电区将对靶，膜层有损

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6楼2015-05-22 20:03:28
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1142211017

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们实验室的磁控溅射一般都用两位数的功率，但是我觉得调到几百瓦应该是没问题的，所以我觉得正常磁控溅射应该是可以调到这个参数的
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不要做让自己看不起的事情
2楼2015-05-21 11:29:00
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竟利娟jlj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-05-21 11:29:00
我们实验室的磁控溅射一般都用两位数的功率，但是我觉得调到几百瓦应该是没问题的，所以我觉得正常磁控溅射应该是可以调到这个参数的

可不可以帮我问一下你们实验室有经验的人能调到那么高吗?拜托
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3楼2015-05-21 17:27:51
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们实验室就可以啊 你要溅射什么东西》
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4楼2015-05-22 12:27:32
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