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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 有虫友知道哪里有直流磁控溅射，功率可以达到600 W左右的吗？
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by 竟利娟jlj at 2015-05-25 22:01:14
呃，靶材尺寸都是固定的，功率跟电源有关...

呵呵，楼主先找找看吧，我们这有一台正在做，但是半年后才能用，楼主要是到时候还需要，可以站内联系我。欢迎交流学习。

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11楼2015-05-26 07:06:56
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q297515943

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
地点北京，我用到直流溅射为150w,往上没试过～

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努力就好~
12楼2015-05-26 08:16:39
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q297515943

银虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by q297515943 at 2015-05-26 08:16:39
地点北京，我用到直流溅射为150w,往上没试过～

不过到600w，问题不大

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努力就好~
13楼2015-05-26 08:17:19
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perry_ping

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们溅射铜，用250w功率。做的挺好。6009289@qq.com

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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14楼2015-06-26 16:33:12
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1-maker

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个与设备有关，靶材面积大的溅射功率也能上去，溅射过程中还涉及到导热问题。
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15楼2015-11-17 22:39:05
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