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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by 竟利娟jlj at 2015-05-25 22:01:14
呃,靶材尺寸都是固定的,功率跟电源有关...

呵呵,楼主先找找看吧,我们这有一台正在做,但是半年后才能用,楼主要是到时候还需要,可以站内联系我。欢迎交流学习。

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11楼2015-05-26 07:06:56
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q297515943

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
地点北京,我用到直流溅射为150w,往上没试过~

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努力就好~
12楼2015-05-26 08:16:39
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q297515943

银虫 (小有名气)

引用回帖:
12楼: Originally posted by q297515943 at 2015-05-26 08:16:39
地点北京,我用到直流溅射为150w,往上没试过~

不过到600w,问题不大

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努力就好~
13楼2015-05-26 08:17:19
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perry_ping

新虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我们溅射铜,用250w功率。做的挺好。6009289@qq.com

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
14楼2015-06-26 16:33:12
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1-maker

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个与设备有关,靶材面积大的溅射功率也能上去,溅射过程中还涉及到导热问题。
15楼2015-11-17 22:39:05
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