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FLYFWY木虫 (小有名气)
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薄膜应力控制问题 已有1人参与
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我用磁控溅射制备金属多层膜（A/B/A/B……这种结构），厚度um量级。 膜稍微镀厚一点（几十um)，镀完膜取样就会发现膜已从基片 上整体脱离（有的膜系是张应力，有的是压应力）。镀薄了对我来说又没用， 所以想控制薄膜的应力，使其能尽量镀厚而不脱落。 1.镀完膜再退一遍火是否能降低薄膜应力从而抑制膜脱落？ 2.该从哪些方面来控制薄膜应力呢？基片热膨胀系数，膜系 设计，烘烤温度？？ 请虫友们指点一二，不胜感激！ |
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 薄膜制备与特性 |
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2楼2015-05-15 22:18:17