24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1940  |  回复: 4

xmcmx

新虫 (小有名气)

[求助] 薄膜中的应力如何释放

薄膜中的应力如何释放?又如何测量薄膜受到的应力大小?谁可以帮忙解决一下?万分感谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhulina84

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xmcmx: 金币+3, 有帮助 2013-11-27 20:53:23
目前测量薄膜残余应力没有特别好的办法,曲率法还讲究,您可以查查相关文献,应力释放可以采用真空退火试试,但会改变薄膜的性能,看看您想达到什么目的
尽力而为之
2楼2013-11-25 20:43:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xmcmx

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhulina84 at 2013-11-25 20:43:40
目前测量薄膜残余应力没有特别好的办法,曲率法还讲究,您可以查查相关文献,应力释放可以采用真空退火试试,但会改变薄膜的性能,看看您想达到什么目的

曲率怎么个测量法呢?薄膜镀在Si基底上,曲率根本就没啥变化的呀
3楼2013-11-26 19:26:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xmcmx: 金币+2, 有帮助 2013-11-27 20:53:07
我想最简单的办法就是退火,可以看看XRD测应力方面的资料。
4楼2013-11-26 20:33:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhulina84

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xmcmx at 2013-11-26 19:26:49
曲率怎么个测量法呢?薄膜镀在Si基底上,曲率根本就没啥变化的呀...

我具体也没有用过这个方法,只知道这个测薄膜应力还可以
尽力而为之
5楼2013-11-27 08:22:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xmcmx 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料求调剂 +11 一样YWY 2026-04-05 11/550 2026-04-05 23:36 by 来看流星雨10
[考研] 求调剂,一志愿厦门大学,生物与医药,总分272,本科211 +3 Electron1cc 2026-04-01 4/200 2026-04-05 20:24 by lys0704
[考研] 304求调剂(085602,过四级,一志愿985) +15 化工人999 2026-04-04 15/750 2026-04-05 16:25 by 我是电风扇r
[考研] 一志愿南航,数一英一学硕317求调剂!! +5 Acaciad 2026-04-04 5/250 2026-04-05 12:31 by 搏击518
[考研] 290求调剂085701 +10 1314捧花 2026-04-02 10/500 2026-04-05 10:19 by Sealedwind
[考研] 311分 22408 求调剂 +3 bing_bot 2026-04-03 3/150 2026-04-05 00:43 by chongya
[考博] 申博 +7 IQwQl 2026-04-04 7/350 2026-04-04 23:32 by mumin1990
[考研] 085400电子信息319求调剂(接受跨专业调剂) +5 星星不眨眼喽 2026-04-03 6/300 2026-04-04 21:50 by hemengdong
[考研] 0703求调剂383分 +8 W55j 2026-04-03 8/400 2026-04-04 20:09 by xhai2011
[考研] 309分085801求调剂 +11 MY_angel 2026-03-31 11/550 2026-04-04 19:11 by 蓝云思雨
[考研] 材料与化工调剂一志愿大连海事085600,349 +11 吃的不少 2026-03-30 11/550 2026-04-03 18:05 by Jimmyandyou
[考研] 366求调剂 +7 sbdnd 2026-04-03 7/350 2026-04-03 12:40 by cymywx
[考研] 285求调剂 +6 FZAC123 2026-03-30 6/300 2026-04-03 12:22 by xingguangj
[考研] 282求调剂 +5 呼吸都是减肥 2026-03-31 5/250 2026-04-03 12:03 by 1753564080
[考研] 交通运输考试264分求工科调剂 +4 jike777 2026-04-02 4/200 2026-04-02 21:53 by zllcz
[考研] 考研调剂 +3 李木子0120 2026-04-02 5/250 2026-04-02 21:45 by dongzh2009
[考研] 085602化工求调剂(331分) +9 111@127 2026-03-30 9/450 2026-04-02 20:00 by dick_runner
[考研] 0856初试324分求调剂 +6 想上学求调 2026-04-01 6/300 2026-04-02 11:42 by 星空星月
[考研] 08开头看过来!!! +4 wwwwffffff 2026-03-31 6/300 2026-04-02 11:42 by 均值回归
[考研] 083000环境科学与工程调剂,总分281 +4 橙子(胜意) 2026-03-30 4/200 2026-03-31 00:44 by Linzejun
信息提示
请填处理意见