应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 非晶合金 » 薄膜中的应力如何释放
51/1返回列表
查看: 2079  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xmcmx

新虫 (小有名气)

[求助] 薄膜中的应力如何释放

薄膜中的应力如何释放？又如何测量薄膜受到的应力大小？谁可以帮忙解决一下？万分感谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-11-25 16:01:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhulina84

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xmcmx at 2013-11-26 19:26:49
曲率怎么个测量法呢？薄膜镀在Si基底上，曲率根本就没啥变化的呀...

我具体也没有用过这个方法，只知道这个测薄膜应力还可以
赞一下 回复此楼
尽力而为之
5楼2013-11-27 08:22:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

zhulina84

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xmcmx: 金币+3, ★有帮助 2013-11-27 20:53:23
目前测量薄膜残余应力没有特别好的办法，曲率法还讲究，您可以查查相关文献，应力释放可以采用真空退火试试，但会改变薄膜的性能，看看您想达到什么目的
赞一下 回复此楼
尽力而为之
2楼2013-11-25 20:43:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xmcmx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhulina84 at 2013-11-25 20:43:40
目前测量薄膜残余应力没有特别好的办法，曲率法还讲究，您可以查查相关文献，应力释放可以采用真空退火试试，但会改变薄膜的性能，看看您想达到什么目的

曲率怎么个测量法呢？薄膜镀在Si基底上，曲率根本就没啥变化的呀
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-11-26 19:26:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xmcmx: 金币+2, ★有帮助 2013-11-27 20:53:07
我想最简单的办法就是退火，可以看看XRD测应力方面的资料。
赞一下 回复此楼
4楼2013-11-26 20:33:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 3/150 2026-08-23 15:33 by KM5EcsNQRBPn
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 4/200 2026-08-23 15:30 by KM5EcsNQRBPn
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 8/400 2026-08-23 14:30 by KM5EcsNQRBPn
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +3 process2012 2026-08-23 4/200 2026-08-23 12:54 by huixian257
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 h4CP7TrQR8Lg 2026-08-22 5/250 2026-08-23 12:09 by LR9qGULyN2ew
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +15 羊腰板 2026-08-21 16/800 2026-08-23 10:45 by process2012
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +12 大萍1987 2026-08-20 14/700 2026-08-23 10:30 by wrm
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 5/250 2026-08-23 04:07 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 7/350 2026-08-23 03:43 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 6/300 2026-08-23 03:40 by OEbVnUOu01ol
[教师之家] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 4/200 2026-08-22 16:52 by sunzitan
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭