24小时热门版块排行榜    

查看: 1914  |  回复: 4
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

xmcmx

新虫 (小有名气)

[求助] 薄膜中的应力如何释放

薄膜中的应力如何释放?又如何测量薄膜受到的应力大小?谁可以帮忙解决一下?万分感谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xmcmx

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhulina84 at 2013-11-25 20:43:40
目前测量薄膜残余应力没有特别好的办法,曲率法还讲究,您可以查查相关文献,应力释放可以采用真空退火试试,但会改变薄膜的性能,看看您想达到什么目的

曲率怎么个测量法呢?薄膜镀在Si基底上,曲率根本就没啥变化的呀
3楼2013-11-26 19:26:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

zhulina84

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xmcmx: 金币+3, 有帮助 2013-11-27 20:53:23
目前测量薄膜残余应力没有特别好的办法,曲率法还讲究,您可以查查相关文献,应力释放可以采用真空退火试试,但会改变薄膜的性能,看看您想达到什么目的
尽力而为之
2楼2013-11-25 20:43:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xmcmx: 金币+2, 有帮助 2013-11-27 20:53:07
我想最简单的办法就是退火,可以看看XRD测应力方面的资料。
4楼2013-11-26 20:33:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhulina84

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xmcmx at 2013-11-26 19:26:49
曲率怎么个测量法呢?薄膜镀在Si基底上,曲率根本就没啥变化的呀...

我具体也没有用过这个方法,只知道这个测薄膜应力还可以
尽力而为之
5楼2013-11-27 08:22:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 271材料工程求调剂 +5 .6lL 2026-03-18 5/250 2026-03-19 03:07 by 无懈可击111
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +4 Ymlll 2026-03-18 6/300 2026-03-18 22:15 by li123456789.
[考研] 321求调剂 +3 何润采123 2026-03-18 3/150 2026-03-18 21:27 by li123456789.
[考研] 274求调剂 +5 S.H1 2026-03-18 5/250 2026-03-18 21:27 by guosr9609
[教师之家] 焦虑 +8 水冰月月野兔 2026-03-13 12/600 2026-03-18 15:27 by 咪呜喵呜
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +4 材化逐梦人 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:22 by 007_lilei
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考研] 0703化学336分求调剂 +6 zbzihdhd 2026-03-15 7/350 2026-03-18 09:53 by zhukairuo
[考研] 277调剂 +5 自由煎饼果子 2026-03-16 6/300 2026-03-17 19:26 by 李leezz
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +16 不知道叫什么! 2026-03-15 18/900 2026-03-17 17:05 by ruiyingmiao
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[考研] 学硕285求调剂 +13 Wisjxn 2026-03-12 46/2300 2026-03-14 10:33 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 材料301分求调剂 +5 Liyouyumairs 2026-03-12 5/250 2026-03-13 14:42 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见