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xmcmx

新虫 (小有名气)

[求助] 薄膜中的应力如何释放

薄膜中的应力如何释放？又如何测量薄膜受到的应力大小？谁可以帮忙解决一下？万分感谢！
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1楼2013-11-25 16:01:44
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zhulina84

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xmcmx: 金币+3, ★有帮助 2013-11-27 20:53:23
目前测量薄膜残余应力没有特别好的办法，曲率法还讲究，您可以查查相关文献，应力释放可以采用真空退火试试，但会改变薄膜的性能，看看您想达到什么目的
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尽力而为之
2楼2013-11-25 20:43:40
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xmcmx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhulina84 at 2013-11-25 20:43:40
目前测量薄膜残余应力没有特别好的办法，曲率法还讲究，您可以查查相关文献，应力释放可以采用真空退火试试，但会改变薄膜的性能，看看您想达到什么目的

曲率怎么个测量法呢？薄膜镀在Si基底上，曲率根本就没啥变化的呀
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3楼2013-11-26 19:26:49
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xmcmx: 金币+2, ★有帮助 2013-11-27 20:53:07
我想最简单的办法就是退火，可以看看XRD测应力方面的资料。
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4楼2013-11-26 20:33:35
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zhulina84

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xmcmx at 2013-11-26 19:26:49
曲率怎么个测量法呢？薄膜镀在Si基底上，曲率根本就没啥变化的呀...

我具体也没有用过这个方法，只知道这个测薄膜应力还可以
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尽力而为之
5楼2013-11-27 08:22:36
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