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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜基体弧形和平板对薄膜应力的影响
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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜基体弧形和平板对薄膜应力的影响 已有5人参与

最近准备做做真空镀膜，基板有弧形和平板的，不知道退火处理后，热应力差别大吗？会不会弧形的热应力大，更容易脱落呢？有经验的来说说。
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1楼 2013-03-19 21:11:15
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ymshen1980

铜虫 (小有名气)
★ ★
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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-20 21:55:06
应该基片形状影响不大，有可能会在退火过程中热应力太大薄膜破裂，退火会造成薄膜结构变化，内应力也会改变。
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2楼2013-03-20 09:46:33
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么要镀在弧形的基片上呢？
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3楼2013-03-20 10:11:08
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gladiater

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ymshen1980 at 2013-03-20 09:46:33
应该基片形状影响不大，有可能会在退火过程中热应力太大薄膜破裂，退火会造成薄膜结构变化，内应力也会改变。

降低退火温度会好点吗？
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4楼2013-03-20 20:48:44
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gladiater

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-20 10:11:08
为什么要镀在弧形的基片上呢？

要求材料本身就是弧形的，没办法改变。
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5楼2013-03-20 20:49:37
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hqh2011

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
在不做任何处理的条件下，弧形的容易产生大的应力；
但是，要是能做一些恰当的处理，弧形基底反而有跟好的去应力效果。
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6楼2013-03-20 21:06:50
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by hqh2011 at 2013-03-20 21:06:50
在不做任何处理的条件下，弧形的容易产生大的应力；
但是，要是能做一些恰当的处理，弧形基底反而有跟好的去应力效果。

为什么弧形容易产生大的应力？
有什么证据支持吗？
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7楼2013-03-21 09:26:44
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wenjing11

银虫 (正式写手)
应该基片形状影响不大，有可能会在退火过程中热应力太大薄膜破裂，退火会造成薄膜结构变化，内应力也会改变。
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8楼2013-03-21 10:12:32
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hqh2011

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-21 09:26:44
为什么弧形容易产生大的应力？
有什么证据支持吗？...

因为在后续的退火处理的时候，基片也是会发生伸缩的。这样弧形表面更容易产生伸缩不一致。
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9楼2013-03-21 10:54:02
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xaut056

金虫 (正式写手)

xmu
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我觉得这个和薄膜材料与基片热膨胀系数关系比较大，若两者比较接近，形状几乎不对其应力产生影响；如果是薄膜的热膨胀系数比较大（另一情况可以得到相反结果），在平面镀的膜会向薄膜面突出（基片对薄膜产生压应力）退火降低薄膜压应力；至于弧形基片则分为镀在凸面还是凹面的差别，若在凹面则镀膜后，凹面有平面化倾向，仍是基片对薄膜有压应力。
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天生我才必有用
10楼2013-03-21 14:06:46
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