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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜基体弧形和平板对薄膜应力的影响
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by hqh2011 at 2013-03-21 10:54:02
因为在后续的退火处理的时候，基片也是会发生伸缩的。这样弧形表面更容易产生伸缩不一致。...

弧形表面更容易产生伸缩不一致？

为什么？
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11楼2013-03-21 19:41:57
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gladiater

木虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by xaut056 at 2013-03-21 14:06:46
我觉得这个和薄膜材料与基片热膨胀系数关系比较大，若两者比较接近，形状几乎不对其应力产生影响；如果是薄膜的热膨胀系数比较大（另一情况可以得到相反结果），在平面镀的膜会向薄膜面突出（基片对薄膜产生压应力） ...

是镀在凹面的。你的意思是凹面为压应力，而凸面为拉应力？
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12楼2013-03-21 20:54:20
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xaut056

金虫 (正式写手)

xmu
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
12楼: Originally posted by gladiater at 2013-03-21 20:54:20
是镀在凹面的。你的意思是凹面为压应力，而凸面为拉应力？...

至于是压应力还是拉应力，关键是看基片镀膜前后的弯曲变形，就像弹簧一样，只有当有形变才有力的作用，这个形变取决于前后两次，而与弹簧在哪个平衡点无关。如果是镀在凹面，如果镀膜前后认识凹面，就看形变，若果更凹的话就是拉应力，反之就是压应力
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天生我才必有用
13楼2013-03-22 09:07:25
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