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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜基体弧形和平板对薄膜应力的影响 已有5人参与

最近准备做做真空镀膜,基板有弧形和平板的,不知道退火处理后,热应力差别大吗?会不会弧形的热应力大,更容易脱落呢?有经验的来说说。
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gladiater

木虫 (正式写手)

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2楼: Originally posted by ymshen1980 at 2013-03-20 09:46:33
应该基片形状影响不大,有可能会在退火过程中热应力太大薄膜破裂,退火会造成薄膜结构变化,内应力也会改变。

降低退火温度会好点吗?
4楼2013-03-20 20:48:44
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gladiater

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-20 10:11:08
为什么要镀在弧形的基片上呢?

要求材料本身就是弧形的,没办法改变。
5楼2013-03-20 20:49:37
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gladiater

木虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by xaut056 at 2013-03-21 14:06:46
我觉得这个和薄膜材料与基片热膨胀系数关系比较大,若两者比较接近,形状几乎不对其应力产生影响;如果是薄膜的热膨胀系数比较大(另一情况可以得到相反结果),在平面镀的膜会向薄膜面突出(基片对薄膜产生压应力) ...

是镀在凹面的。你的意思是凹面为压应力,而凸面为拉应力?
12楼2013-03-21 20:54:20
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