24小时热门版块排行榜    

查看: 898  |  回复: 6

lmcr

铜虫 (小有名气)

[求助] x-ray 的半峰宽能表征薄膜的什么性质

最近测x-ray的薄膜的半峰宽, 在不同的基片上面产生的半峰宽不同,应力越大,半峰宽越大,可是我的薄膜的厚度已经把strain 都release掉了。 不知能否指教一下,应该如何解释半峰宽增加?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Salucard77

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-28 13:33:42
lmcr: 金币+1, 有帮助 2012-11-30 01:39:17
一般晶粒尺寸不都是半峰宽通过谢乐公式算的吗。你的薄膜是单晶的吗?
2楼2012-11-28 10:43:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-28 13:34:02
lmcr: 金币+1, 有帮助 2012-11-30 02:01:51
应力释放掉了的话,那么半高宽应该表示的就是晶粒尺寸,是不是薄膜在不同基片上生长时,生长的晶面不同,有可能导致晶粒大小不同。还有不知道你是怎么成膜的,不同的成膜方式应该有些工艺参数会影响的。比如磁控溅射的功率,背压都是有影响的。
用绳命来搞科研
3楼2012-11-28 10:52:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极 2012-11-29 08:34:05
chemlh: 交流 2012-11-29 08:34:15
lmcr: 金币+1, 有帮助 2012-11-30 02:05:20
不同基片上薄膜的晶体结构、晶粒尺寸应该有所不同。
4楼2012-11-28 16:55:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2012-11-29 08:34:25
lmcr: 金币+1 2012-11-30 02:05:26
你所谓的应力弛豫,其实并不是想象中的全部晶格都相同变化,弛豫是一个过程,可能最表面弛豫大,最下面弛豫下,造成晶格常数会有一个差异,x ray测试的是晶格常数,晶格常数变化,x ray肯定就展宽了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
奋斗。。。
5楼2012-11-28 18:57:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lmcr

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Salucard77 at 2012-11-28 10:43:08
一般晶粒尺寸不都是半峰宽通过谢乐公式算的吗。你的薄膜是单晶的吗?

对,是单晶的。那请问你知道那个公式嘛?
6楼2012-11-30 01:39:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lmcr

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2012-11-28 10:52:03
应力释放掉了的话,那么半高宽应该表示的就是晶粒尺寸,是不是薄膜在不同基片上生长时,生长的晶面不同,有可能导致晶粒大小不同。还有不知道你是怎么成膜的,不同的成膜方式应该有些工艺参数会影响的。比如磁控溅射 ...

我的生长条件都是一样的
7楼2012-11-30 02:02:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lmcr 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 304求调剂 +3 52hz~~ 2026-02-28 5/250 2026-03-01 00:00 by 52hz~~
[考研] 317一志愿华南理工电气工程求调剂 +5 Soliloquy_Q 2026-02-28 8/400 2026-02-28 23:36 by xyx2012xyx
[考研] 272求调剂 +3 材紫有化 2026-02-28 3/150 2026-02-28 22:52 by ms629
[考研] 化工专硕348,一志愿985求调剂 +4 弗格个 2026-02-28 6/300 2026-02-28 22:00 by wang_dand
[考研] 290求调剂 +5 材料专硕调剂; 2026-02-28 6/300 2026-02-28 21:40 by gaoxiaoniuma
[考研] 材料学调剂 +5 提神豆沙包 2026-02-28 5/250 2026-02-28 21:34 by gaoxiaoniuma
[考研] 264求调剂 +3 巴拉巴拉根556 2026-02-28 3/150 2026-02-28 21:31 by gaoxiaoniuma
[考研] 材料类求调剂 +6 wana_kiko 2026-02-28 6/300 2026-02-28 21:20 by gaoxiaoniuma
[考研] 求调剂 +4 repeatt?t 2026-02-28 4/200 2026-02-28 21:16 by gaoxiaoniuma
[考研] 高分子化学与物理调剂 +4 好好好1233 2026-02-28 7/350 2026-02-28 20:42 by 好好好1233
[考研] 298求调剂 +8 人间唯你是清欢 2026-02-28 11/550 2026-02-28 20:26 by L135790
[考研] 276求调剂 +3 路lyh123 2026-02-28 4/200 2026-02-28 19:45 by 路lyh123
[考博] 博士自荐 +3 kkluvs 2026-02-28 3/150 2026-02-28 16:59 by StarAura
[高分子] 求环氧树脂研发1名 +3 孙xc 2026-02-25 11/550 2026-02-28 16:57 by ichall
[考研] 265分求调剂不调专业和学校有行学上就 +4 礼堂丁真258 2026-02-28 6/300 2026-02-28 16:18 by 求调剂zz
[考研] 304求调剂 +5 曼殊2266 2026-02-28 6/300 2026-02-28 12:44 by 迷糊CCPs
[硕博家园] 博士自荐 +6 科研狗111 2026-02-26 9/450 2026-02-28 12:32 by seaskyy
[考研] 298求调剂 +4 axyz3 2026-02-28 4/200 2026-02-28 11:21 by wang_dand
[基金申请] 面上可以超过30页吧? +12 阿拉贡aragon 2026-02-22 13/650 2026-02-26 22:09 by Hahaxia
[硕博家园] 【博士招生】太原理工大学2026化工博士 +4 N1ce_try 2026-02-24 8/400 2026-02-26 08:40 by N1ce_try
信息提示
请填处理意见