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lmcr

铜虫 (小有名气)

[求助] x-ray 的半峰宽能表征薄膜的什么性质

最近测x-ray的薄膜的半峰宽, 在不同的基片上面产生的半峰宽不同,应力越大,半峰宽越大,可是我的薄膜的厚度已经把strain 都release掉了。 不知能否指教一下,应该如何解释半峰宽增加?
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Salucard77

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-28 13:33:42
lmcr: 金币+1, 有帮助 2012-11-30 01:39:17
一般晶粒尺寸不都是半峰宽通过谢乐公式算的吗。你的薄膜是单晶的吗?
2楼2012-11-28 10:43:08
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-28 13:34:02
lmcr: 金币+1, 有帮助 2012-11-30 02:01:51
应力释放掉了的话,那么半高宽应该表示的就是晶粒尺寸,是不是薄膜在不同基片上生长时,生长的晶面不同,有可能导致晶粒大小不同。还有不知道你是怎么成膜的,不同的成膜方式应该有些工艺参数会影响的。比如磁控溅射的功率,背压都是有影响的。
用绳命来搞科研
3楼2012-11-28 10:52:03
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极 2012-11-29 08:34:05
chemlh: 交流 2012-11-29 08:34:15
lmcr: 金币+1, 有帮助 2012-11-30 02:05:20
不同基片上薄膜的晶体结构、晶粒尺寸应该有所不同。
4楼2012-11-28 16:55:46
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2012-11-29 08:34:25
lmcr: 金币+1 2012-11-30 02:05:26
你所谓的应力弛豫,其实并不是想象中的全部晶格都相同变化,弛豫是一个过程,可能最表面弛豫大,最下面弛豫下,造成晶格常数会有一个差异,x ray测试的是晶格常数,晶格常数变化,x ray肯定就展宽了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
奋斗。。。
5楼2012-11-28 18:57:18
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lmcr

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Salucard77 at 2012-11-28 10:43:08
一般晶粒尺寸不都是半峰宽通过谢乐公式算的吗。你的薄膜是单晶的吗?

对,是单晶的。那请问你知道那个公式嘛?
6楼2012-11-30 01:39:07
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lmcr

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2012-11-28 10:52:03
应力释放掉了的话,那么半高宽应该表示的就是晶粒尺寸,是不是薄膜在不同基片上生长时,生长的晶面不同,有可能导致晶粒大小不同。还有不知道你是怎么成膜的,不同的成膜方式应该有些工艺参数会影响的。比如磁控溅射 ...

我的生长条件都是一样的
7楼2012-11-30 02:02:08
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