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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » x-ray 的半峰宽能表征薄膜的什么性质
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lmcr

铜虫 (小有名气)

[求助] x-ray 的半峰宽能表征薄膜的什么性质

最近测x-ray的薄膜的半峰宽， 在不同的基片上面产生的半峰宽不同，应力越大，半峰宽越大，可是我的薄膜的厚度已经把strain 都release掉了。 不知能否指教一下，应该如何解释半峰宽增加？
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1楼 2012-11-28 01:14:54
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Salucard77

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-28 13:33:42
lmcr: 金币+1, ★有帮助 2012-11-30 01:39:17
一般晶粒尺寸不都是半峰宽通过谢乐公式算的吗。你的薄膜是单晶的吗？
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2楼2012-11-28 10:43:08
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-28 13:34:02
lmcr: 金币+1, ★有帮助 2012-11-30 02:01:51
应力释放掉了的话，那么半高宽应该表示的就是晶粒尺寸，是不是薄膜在不同基片上生长时，生长的晶面不同，有可能导致晶粒大小不同。还有不知道你是怎么成膜的，不同的成膜方式应该有些工艺参数会影响的。比如磁控溅射的功率，背压都是有影响的。
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用绳命来搞科研
3楼2012-11-28 10:52:03
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极 2012-11-29 08:34:05
chemlh: 交流 2012-11-29 08:34:15
lmcr: 金币+1, ★有帮助 2012-11-30 02:05:20
不同基片上薄膜的晶体结构、晶粒尺寸应该有所不同。
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4楼2012-11-28 16:55:46
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2012-11-29 08:34:25
lmcr: 金币+1 2012-11-30 02:05:26
你所谓的应力弛豫，其实并不是想象中的全部晶格都相同变化，弛豫是一个过程，可能最表面弛豫大，最下面弛豫下，造成晶格常数会有一个差异，x ray测试的是晶格常数，晶格常数变化，x ray肯定就展宽了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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奋斗。。。
5楼2012-11-28 18:57:18
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lmcr

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Salucard77 at 2012-11-28 10:43:08
一般晶粒尺寸不都是半峰宽通过谢乐公式算的吗。你的薄膜是单晶的吗？

对，是单晶的。那请问你知道那个公式嘛？
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6楼2012-11-30 01:39:07
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lmcr

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2012-11-28 10:52:03
应力释放掉了的话，那么半高宽应该表示的就是晶粒尺寸，是不是薄膜在不同基片上生长时，生长的晶面不同，有可能导致晶粒大小不同。还有不知道你是怎么成膜的，不同的成膜方式应该有些工艺参数会影响的。比如磁控溅射 ...

我的生长条件都是一样的
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7楼2012-11-30 02:02:08
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