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lmcr

铜虫 (小有名气)

[求助] x-ray 的半峰宽能表征薄膜的什么性质

最近测x-ray的薄膜的半峰宽, 在不同的基片上面产生的半峰宽不同,应力越大,半峰宽越大,可是我的薄膜的厚度已经把strain 都release掉了。 不知能否指教一下,应该如何解释半峰宽增加?
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极 2012-11-29 08:34:05
chemlh: 交流 2012-11-29 08:34:15
lmcr: 金币+1, 有帮助 2012-11-30 02:05:20
不同基片上薄膜的晶体结构、晶粒尺寸应该有所不同。
4楼2012-11-28 16:55:46
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