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lmcr

铜虫 (小有名气)

[求助] x-ray 的半峰宽能表征薄膜的什么性质

最近测x-ray的薄膜的半峰宽, 在不同的基片上面产生的半峰宽不同,应力越大,半峰宽越大,可是我的薄膜的厚度已经把strain 都release掉了。 不知能否指教一下,应该如何解释半峰宽增加?
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Salucard77

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


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zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-28 13:33:42
lmcr: 金币+1, 有帮助 2012-11-30 01:39:17
一般晶粒尺寸不都是半峰宽通过谢乐公式算的吗。你的薄膜是单晶的吗?
2楼2012-11-28 10:43:08
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