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镀膜样品要看SEM截面膜层,怎么处理样品? 已有6人参与
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| 我是用磁控溅射方法在Mo表面镀Ni,膜厚大概是1-2微米,现在镀完后想用扫描电镜看截面形貌,膜厚等,怎么处理样品,以前试过襄样+磨+抛光的方法,最后发现很难找到膜。右换种方法,用液氮冷却脆断,但是容易在脆断过程膜层发生撕裂,膜翘起来了,没有和基体连在一起。求大神知道好方法。 |
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Monash2011
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2楼2014-06-17 19:52:38
3楼2014-06-18 16:17:48
testing1985 
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4楼2014-06-20 07:53:50
gxytju2008
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5楼2014-06-20 10:18:19
6楼2014-06-20 22:18:32
jedi-j
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