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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)

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[求助] 镀膜样品要看SEM截面膜层，怎么处理样品？已有6人参与

我是用磁控溅射方法在Mo表面镀Ni，膜厚大概是1-2微米，现在镀完后想用扫描电镜看截面形貌，膜厚等，怎么处理样品，以前试过襄样+磨+抛光的方法，最后发现很难找到膜。右换种方法，用液氮冷却脆断，但是容易在脆断过程膜层发生撕裂，膜翘起来了，没有和基体连在一起。求大神知道好方法。

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1楼 2014-06-17 19:46:56

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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

6楼: Originally posted by COXEM at 2014-06-20 22:18:32
这么厚的膜，应该比较好观察。
另外基体是Mo，还能在液氮下掰断，说明基体比较薄是吧？
在脆断前，用金刚石划刀在从基体背面用力划一条痕，液氮冷脆温度后，沿着划痕掰断，你获得较好断口的概率会增加N倍

如图

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