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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 镀膜样品要看SEM截面膜层，怎么处理样品？
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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)

[求助] 镀膜样品要看SEM截面膜层，怎么处理样品？ 已有6人参与

我是用磁控溅射方法在Mo表面镀Ni，膜厚大概是1-2微米，现在镀完后想用扫描电镜看截面形貌，膜厚等，怎么处理样品，以前试过襄样+磨+抛光的方法，最后发现很难找到膜。右换种方法，用液氮冷却脆断，但是容易在脆断过程膜层发生撕裂，膜翘起来了，没有和基体连在一起。求大神知道好方法。
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1楼 2014-06-17 19:46:56
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si_yanmao

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-06-20 10:18:19
嗯，激光切割应该可以的感觉

激光切割如果割到底的话，膜层也看不清楚，如果不切到底，然后用手掰，断面就会出现碎屑或者蹦边，没有那种断面很清楚也很整齐的处理方法么？
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10楼2014-10-30 15:22:53
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Monash2011

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
拿块胶布覆盖在样品上 镀膜后取下，未覆盖的区域有膜，然后在sem里tiilt一定角度 一般52度，就可观察到膜厚
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继续搂金币中，祝大家好运！
2楼2014-06-17 19:52:38
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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Monash2011 at 2014-06-17 19:52:38
拿块胶布覆盖在样品上 镀膜后取下，未覆盖的区域有膜，然后在sem里tiilt一定角度 一般52度，就可观察到膜厚

那样就看不到膜层与基体的连接界面了。
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3楼2014-06-18 16:17:48
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testing1985

禁虫 (初入文坛)
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4楼2014-06-20 07:53:50
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