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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 镀膜样品要看SEM截面膜层，怎么处理样品？
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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)

[求助] 镀膜样品要看SEM截面膜层，怎么处理样品？ 已有6人参与

我是用磁控溅射方法在Mo表面镀Ni，膜厚大概是1-2微米，现在镀完后想用扫描电镜看截面形貌，膜厚等，怎么处理样品，以前试过襄样+磨+抛光的方法，最后发现很难找到膜。右换种方法，用液氮冷却脆断，但是容易在脆断过程膜层发生撕裂，膜翘起来了，没有和基体连在一起。求大神知道好方法。
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1楼 2014-06-17 19:46:56
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Monash2011

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
拿块胶布覆盖在样品上 镀膜后取下，未覆盖的区域有膜，然后在sem里tiilt一定角度 一般52度，就可观察到膜厚
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继续搂金币中，祝大家好运！
2楼2014-06-17 19:52:38
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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Monash2011 at 2014-06-17 19:52:38
拿块胶布覆盖在样品上 镀膜后取下，未覆盖的区域有膜，然后在sem里tiilt一定角度 一般52度，就可观察到膜厚

那样就看不到膜层与基体的连接界面了。
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3楼2014-06-18 16:17:48
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testing1985

禁虫 (初入文坛)
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4楼2014-06-20 07:53:50
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
嗯，激光切割应该可以的感觉
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5楼2014-06-20 10:18:19
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


【答案】应助回帖

这么厚的膜，应该比较好观察。
另外基体是Mo，还能在液氮下掰断，说明基体比较薄是吧？
在脆断前，用金刚石划刀在从基体背面用力划一条痕，液氮冷脆温度后，沿着划痕掰断，你获得较好断口的概率会增加N倍
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6楼2014-06-20 22:18:32
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

邪门外道供参考：
用奇异笔（麦克笔）在表面划一道，
镀膜后用酒精擦拭表面造成膜剥落，
就又断面可观察。

P.S.胶带边缘易有 step-coverage问题，较不建议。
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7楼2014-06-24 20:25:25
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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by COXEM at 2014-06-20 22:18:32
这么厚的膜，应该比较好观察。
另外基体是Mo，还能在液氮下掰断，说明基体比较薄是吧？
在脆断前，用金刚石划刀在从基体背面用力划一条痕，液氮冷脆温度后，沿着划痕掰断，你获得较好断口的概率会增加N倍

我以前一直是用这种方法的，不过有时会因为在掰断过程中瞬间大应力而致使膜层与基体发生脱离现象，搞得找SEN截面只能看到膜层，看不到基体！
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8楼2014-06-25 15:04:20
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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by COXEM at 2014-06-20 22:18:32
这么厚的膜，应该比较好观察。
另外基体是Mo，还能在液氮下掰断，说明基体比较薄是吧？
在脆断前，用金刚石划刀在从基体背面用力划一条痕，液氮冷脆温度后，沿着划痕掰断，你获得较好断口的概率会增加N倍

如图
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9楼2014-06-25 15:11:50
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si_yanmao

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-06-20 10:18:19
嗯，激光切割应该可以的感觉

激光切割如果割到底的话，膜层也看不清楚，如果不切到底，然后用手掰，断面就会出现碎屑或者蹦边，没有那种断面很清楚也很整齐的处理方法么？
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10楼2014-10-30 15:22:53
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