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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)

[求助] 镀膜样品要看SEM截面膜层,怎么处理样品? 已有6人参与

我是用磁控溅射方法在Mo表面镀Ni,膜厚大概是1-2微米,现在镀完后想用扫描电镜看截面形貌,膜厚等,怎么处理样品,以前试过襄样+磨+抛光的方法,最后发现很难找到膜。右换种方法,用液氮冷却脆断,但是容易在脆断过程膜层发生撕裂,膜翘起来了,没有和基体连在一起。求大神知道好方法。
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testing1985

禁虫 (初入文坛)

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4楼2014-06-20 07:53:50
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Monash2011

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
拿块胶布覆盖在样品上 镀膜后取下,未覆盖的区域有膜,然后在sem里tiilt一定角度 一般52度,就可观察到膜厚
继续搂金币中,祝大家好运!
2楼2014-06-17 19:52:38
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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Monash2011 at 2014-06-17 19:52:38
拿块胶布覆盖在样品上 镀膜后取下,未覆盖的区域有膜,然后在sem里tiilt一定角度 一般52度,就可观察到膜厚

那样就看不到膜层与基体的连接界面了。
3楼2014-06-18 16:17:48
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
嗯,激光切割应该可以的感觉
5楼2014-06-20 10:18:19
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