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PZT铁电薄膜中的自极化与应力关系研究
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PZT铁电薄膜中的自极化现象研究 关键词：自极化，外延应力，PZT薄膜 研究表明外延压应变是PbZr0.2Ti0.8O3薄膜向上自极化现象的主要来源。实验研究了在不同外延PbZr0.2Ti0.8O3厚度、不同底电极材料、多晶PbZr0.2Ti0.8O3薄膜和氧空位作用下的PbZr0.2Ti0.8O3自极化效应。在(001)SrTiO3衬底上生长的以p型La0.7Sr0.3MnO3或n型SrRuO3为底电极缓冲层的PbZr0.2Ti0.8O3外延薄膜，以及n型(001)Nb-SrTiO3衬底上直接生长的PbZr0.2Ti0.8O3外延薄膜，都具有良好的自发极化向上现象。且只有在PbZr0.2Ti0.8O3薄膜很薄时，自极化现象明显，而随着PbZr0.2Ti0.8O3厚度逐渐增加，自极化现象会逐渐变弱甚至消失，而且不同类型的底电极材料对自极化趋势没有明显影响。同时，在氧空位浓度高的外延PbZr0.2Ti0.8O3薄膜和多晶PbZr0.2Ti0.8O3薄膜中，没有观察到自极化现象。自极化和外延压应变的演变趋势一致，且在超薄的PbZr0.2Ti0.8O3薄膜中，外延压应力最大，自极化现象也最明显。实验排除了p-n结、肖特基结、氧空位或者金属离子空位作为自极化现象主要来源的可能性。 分享一下个人发表的一篇关于PZT薄膜自极化的文章，目前自极化来源还无统一定论，欢迎交流。[ Last edited by wiseroy on 2014-1-18 at 11:12 ] |
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2014-01-16 16:47:13, 2.55 M
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