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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜应力控制问题 已有1人参与

我用磁控溅射制备金属多层膜(A/B/A/B……这种结构),厚度um量级。
膜稍微镀厚一点(几十um),镀完膜取样就会发现膜已从基片
上整体脱离(有的膜系是张应力,有的是压应力)。镀薄了对我来说又没用,
所以想控制薄膜的应力,使其能尽量镀厚而不脱落。

1.镀完膜再退一遍火是否能降低薄膜应力从而抑制膜脱落?
2.该从哪些方面来控制薄膜应力呢?基片热膨胀系数,膜系
设计,烘烤温度??
请虫友们指点一二,不胜感激!
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薄膜制备与特性

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lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你做的名称是超晶格涂层, 做的A/B  必须匹配好,还有的设备具有非常好的稳定性能,以及镀膜前的离子刻蚀,镀膜时的温度控制等。才能做出比较好的厚膜。 你没有讲明白你做的是哪个两种膜,以及用什么样的设备和镀膜条件。
2楼2015-05-15 22:18:17
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