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FLYFWY

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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虫号: 747879
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专业: 光学信息获取与处理

[求助] 薄膜应力控制问题已有1人参与

我用磁控溅射制备金属多层膜（A/B/A/B……这种结构），厚度um量级。
膜稍微镀厚一点（几十um)，镀完膜取样就会发现膜已从基片
上整体脱离（有的膜系是张应力，有的是压应力）。镀薄了对我来说又没用，
所以想控制薄膜的应力，使其能尽量镀厚而不脱落。

1.镀完膜再退一遍火是否能降低薄膜应力从而抑制膜脱落？
2.该从哪些方面来控制薄膜应力呢？基片热膨胀系数，膜系
设计，烘烤温度？？
请虫友们指点一二，不胜感激！

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薄膜制备与特性

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1楼 2015-05-13 15:14:45

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lisx2525

新虫 (初入文坛)

应助: 3 (幼儿园)
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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

你做的名称是超晶格涂层，做的A/B 必须匹配好，还有的设备具有非常好的稳定性能，以及镀膜前的离子刻蚀，镀膜时的温度控制等。才能做出比较好的厚膜。你没有讲明白你做的是哪个两种膜，以及用什么样的设备和镀膜条件。

2楼2015-05-15 22:18:17

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