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TEM 选区电子衍射图谱 分析求助！！！ 已有1人参与
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最近做了一次TEM的SAD，得到的衍射图自己不知道怎么标定晶相啊？ 用的是单晶硅（111）做的刻蚀，衍射出图案知道是单晶， 但不知道晶相怎么标记？第一幅图第二幅图晶相一样吗？ 还有第三幅图的衍射，只知道含有缺陷，不知道是什么缺陷？哪位同仁给点建议？  图片1.png  图片2.png  图片3.png |
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【答案】应助回帖
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????????????111??wafer ?@Щpattern???????110??zone axis ?K?????????(stacking fault)???e?? ??????????^?? ?????????????^???@??superlattice???????c ?S???????? superlattice???????c?????????? [ ????С??????? ] |
2楼2015-05-06 15:21:41
ntrf
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