版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知（长期有效）

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 128.4
散金: 35
红花: 1
帖子: 121
在线: 76.4小时
虫号: 1452818
注册: 2011-10-20
性别: MM
专业: 光学

[交流] 硅片表面氧化层的制作工艺

在半导体领域制备器件的时候基本都是以硅片作为基底，在硅片表面有一层厚度从几纳米到几百纳米不等的氧化层，但是，有时候氧化层致密度不是很好，常常在测试过程中会有漏电情况产生。所以，在这里想请问一下，一般实验室使用的SiO2/Si基底的氧化层是如何制备的？具体流程是什么样的？如果过程介绍起来比较复杂的话可以推荐相关的资料也可以，多谢各位前辈前来讨论指导！

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

comeon

1楼2015-04-29 21:09:17

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

硅片湿法腐蚀背面保护问题已经有11人回复
硅表面的自然氧化层生长速率已经有7人回复
铝片表面氧化层厚度已经有23人回复
关于去除硅片氧化层已经有4人回复
在硅片上长了氧化硅氮化硅薄膜，用什么测反射率已经有9人回复
样品表面清洗与干燥已经有23人回复
一般买回来的单晶硅片（圆的那种）的表面是不是有一层自然的氧化膜（二氧化硅）? 已经有7人回复
硅片氧化层击穿测试求助已经有3人回复
硅片上自然生长的氧化硅薄膜的厚度已经有7人回复
什么东西可以去除水溶液中吸附在硅片表面的氢气，除IPA 已经有13人回复
求助湿法腐蚀二氧化硅边缘不光滑求大家分析下原因有图已经有18人回复
纳米器件为什么要选用硅片作为基底？已经有13人回复
纯镍焊丝焊接后表面氧化层处理已经有9人回复
硅片作为衬底时怎么去除表面氧化层已经有12人回复
硅衬底上去除氧化硅已经有4人回复
求助铸造铝合金脱脂清污与去氧化层抛光工艺已经有10人回复
求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料已经有8人回复
为什么太阳能级硅生产要除磷，硼，而制作太阳电池却要吸杂（P/B）已经有12人回复
【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗？已经有5人回复
【求助】用电化学方法除去不锈钢表面的氧化层已经有13人回复
求太阳能技术书籍+有效期至2010年5月1日已经有11人回复
【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？已经有34人回复
【讨论】氧化硅表面包一层氧化铈，说出您的高见已经有20人回复

点击这里搜索更多相关资源

科研从小木虫开始，人人为我，我为人人

相关版块跳转我要订阅楼主 ZYQZPF 的主题更新