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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

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[交流] 硅片表面氧化层的制作工艺

在半导体领域制备器件的时候基本都是以硅片作为基底，在硅片表面有一层厚度从几纳米到几百纳米不等的氧化层，但是，有时候氧化层致密度不是很好，常常在测试过程中会有漏电情况产生。所以，在这里想请问一下，一般实验室使用的SiO2/Si基底的氧化层是如何制备的？具体流程是什么样的？如果过程介绍起来比较复杂的话可以推荐相关的资料也可以，多谢各位前辈前来讨论指导！

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comeon

1楼 2015-04-29 21:09:17

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

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