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焦天鹏

铜虫 (小有名气)

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[求助] 硅表面的自然氧化层生长速率已有3人参与

求助一下，单晶（100）裸硅上面常温下自然氧化层的生长速率大约多少？

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1楼 2014-08-11 18:03:09

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cord

铁杆木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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焦天鹏: 金币+4, ★有帮助 2014-08-12 13:28:24

请看下面文献：W. Henriona, M. Rebiena, H. Angermanna, A. Roseler, Spectroscopic investigations of hydrogen termination, oxide coverage, roughness, and surface state density of silicon during native oxidation in air, Applied Surface Science 202 (2002) 199–205