24小时热门版块排行榜    

查看: 1241  |  回复: 4

122413087

金虫 (小有名气)

[求助] 用过磁控溅射镀磁性靶材的同学进来一下 已有1人参与

请问磁性的靶材可以放到非磁性靶源(放靶的底座)上吗?  非磁性靶材可以放到磁性的靶源(放靶的底座)上吗?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

谦虚使人进步,骄傲使人落后。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
122413087: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢你 2015-04-23 22:21:32
磁性靶材应该不可以放在非磁靶上,磁场强度不够。反之可以。建议咨询下生产厂家,看看原有磁场强度是否够用,不排除原有磁场强度够用的可能。

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-04-23 07:11:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

122413087

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-04-23 07:11:18
磁性靶材应该不可以放在非磁靶上,磁场强度不够。反之可以。建议咨询下生产厂家,看看原有磁场强度是否够用,不排除原有磁场强度够用的可能。

再问一下,磁场强度不够是起不了辉的意思吗?  那假如能起辉的话,磁性靶材放在非磁性靶源上镀膜    对非磁性靶源有损害吗?
谦虚使人进步,骄傲使人落后。
3楼2015-04-23 22:24:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 122413087 at 2015-04-23 22:24:23
再问一下,磁场强度不够是起不了辉的意思吗?  那假如能起辉的话,磁性靶材放在非磁性靶源上镀膜    对非磁性靶源有损害吗?...

磁场强度不够,也可以起辉,即放电,但是放电模式是二级放电(放电电压几千V),不是磁控放电(放电电压500~600V)。
第二个问题,理论上不会有影响。但工业上应用一般铁磁性靶材都用强磁靶,而不是一般的靶源。

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2015-04-24 07:14:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

122413087

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-04-24 07:14:11
磁场强度不够,也可以起辉,即放电,但是放电模式是二级放电(放电电压几千V),不是磁控放电(放电电压500~600V)。
第二个问题,理论上不会有影响。但工业上应用一般铁磁性靶材都用强磁靶,而不是一般的靶源。
...

好的。了解了,非常谢谢。
谦虚使人进步,骄傲使人落后。
5楼2015-04-30 09:34:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 122413087 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 307求调剂 +3 wyyyqx 2026-03-17 3/150 2026-03-21 03:20 by JourneyLucky
[考研] 083200学硕321分一志愿暨南大学求调剂 +3 innocenceF 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:35 by JourneyLucky
[考研] 华东师范大学-071000生物学-293分-求调剂 +3 研究生何瑶明 2026-03-18 3/150 2026-03-21 01:30 by JourneyLucky
[考研] 280求调剂 +7 咕噜晓晓 2026-03-18 8/400 2026-03-21 01:27 by JourneyLucky
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分,一志愿四川大学,诚心求调剂 +8 吃吃吃才有意义 2026-03-19 8/400 2026-03-21 00:49 by 刘国森
[考研] 354求调剂 +5 Tyoumou 2026-03-18 8/400 2026-03-21 00:35 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南昌大学,327分,材料与化工085600 +9 Ncdx123456 2026-03-19 9/450 2026-03-20 23:41 by lovewei0727
[考研] 304求调剂 +7 司空. 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:08 by JourneyLucky
[考研] 中南大学化学学硕337求调剂 +3 niko- 2026-03-19 6/300 2026-03-20 21:58 by luoyongfeng
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +19 不知道叫什么! 2026-03-15 21/1050 2026-03-20 20:48 by zhukairuo
[论文投稿] 申请回稿延期一个月,编辑同意了。但系统上的时间没变,给编辑又写邮件了,没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考博] 申博26年 +3 八6八68 2026-03-19 3/150 2026-03-19 19:43 by nxgogo
[考研] 【同济软件】软件(085405)考研求调剂 +3 2026eternal 2026-03-18 3/150 2026-03-18 19:09 by 搏击518
[考研] 收复试调剂生 +4 雨后秋荷 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:16 by elevennnne
[考研] 293求调剂 +11 zjl的号 2026-03-16 16/800 2026-03-18 08:10 by zhukairuo
[考研] 326求调剂 +5 上岸的小葡 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:26 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿苏州大学材料工程(085601)专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +6 大火山小火山 2026-03-16 8/400 2026-03-17 15:05 by 无懈可击111
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-15 6/300 2026-03-17 11:05 by 学员h26Tkc
[考研] 11408 一志愿西电,277分求调剂 +3 zhouzhen654 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:03 by laoshidan
[考研] 复试调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
信息提示
请填处理意见