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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 用过磁控溅射镀磁性靶材的同学进来一下
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122413087

金虫 (小有名气)

[求助] 用过磁控溅射镀磁性靶材的同学进来一下 已有1人参与

请问磁性的靶材可以放到非磁性靶源（放靶的底座）上吗？  非磁性靶材可以放到磁性的靶源（放靶的底座）上吗？
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1楼 2015-04-22 20:19:53
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
122413087: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢你 2015-04-23 22:21:32
磁性靶材应该不可以放在非磁靶上，磁场强度不够。反之可以。建议咨询下生产厂家，看看原有磁场强度是否够用，不排除原有磁场强度够用的可能。

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2楼2015-04-23 07:11:18
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122413087

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-04-23 07:11:18
磁性靶材应该不可以放在非磁靶上，磁场强度不够。反之可以。建议咨询下生产厂家，看看原有磁场强度是否够用，不排除原有磁场强度够用的可能。

再问一下，磁场强度不够是起不了辉的意思吗？  那假如能起辉的话，磁性靶材放在非磁性靶源上镀膜    对非磁性靶源有损害吗？
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谦虚使人进步，骄傲使人落后。
3楼2015-04-23 22:24:23
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 122413087 at 2015-04-23 22:24:23
再问一下，磁场强度不够是起不了辉的意思吗？  那假如能起辉的话，磁性靶材放在非磁性靶源上镀膜    对非磁性靶源有损害吗？...

磁场强度不够，也可以起辉，即放电，但是放电模式是二级放电（放电电压几千V），不是磁控放电（放电电压500～600V）。
第二个问题，理论上不会有影响。但工业上应用一般铁磁性靶材都用强磁靶，而不是一般的靶源。

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4楼2015-04-24 07:14:11
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122413087

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-04-24 07:14:11
磁场强度不够，也可以起辉，即放电，但是放电模式是二级放电（放电电压几千V），不是磁控放电（放电电压500～600V）。
第二个问题，理论上不会有影响。但工业上应用一般铁磁性靶材都用强磁靶，而不是一般的靶源。
...

好的。了解了，非常谢谢。
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谦虚使人进步，骄傲使人落后。
5楼2015-04-30 09:34:48
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