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丿Shine_可乐

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 求助做光刻的大神 已有1人参与

本人光刻菜鸟,刚入门。最近我用光刻做一个直径为2μm的圆形图案,但是显影出来要么就是光刻胶被显掉了,要么就是显不出图案来,比较好的结果就是显出了图案,可是用SEM拍出来的直径是大于2微米的。工艺参数如显影时间,曝光时间,显影液浓度这些能改变的都改变了,还是做不出来。。。求大神帮忙
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丿Shine_可乐

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by looor at 2015-03-05 17:02:31
曝光之前确认过曝光剂量和焦面吗?
PR多厚?+还是-?

光刻机是学院的,接触式曝光的那种,PR大概1微米厚,用的正胶,说明书上说曝光剂量是55mJ/cm2,但是我不会换算成曝光时间。。。焦面是什么?
4楼2015-03-05 17:20:22
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looor

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你用的什么机台?
安心工作
2楼2015-03-05 16:59:19
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looor

木虫 (小有名气)


keailinger: 金币+1, 专家看门道,外行看热闹。感谢虫子发帖应助,欢迎常来工艺技术版,积极应助和发帖交流都有惊喜的哦! 2015-03-05 17:20:03
曝光之前确认过曝光剂量和焦面吗?
PR多厚?+还是-?
安心工作
3楼2015-03-05 17:02:31
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