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求助做光刻的大神已有1人参与
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| 本人光刻菜鸟，刚入门。最近我用光刻做一个直径为2μm的圆形图案，但是显影出来要么就是光刻胶被显掉了，要么就是显不出图案来，比较好的结果就是显出了图案，可是用SEM拍出来的直径是大于2微米的。工艺参数如显影时间，曝光时间，显影液浓度这些能改变的都改变了，还是做不出来。。。求大神帮忙 |
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looor
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keailinger: 金币+1, 专家看门道，外行看热闹。感谢虫子发帖应助，欢迎常来工艺技术版，积极应助和发帖交流都有惊喜的哦！ 2015-03-05 17:20:03
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