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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 综合其他 » 求助做光刻的大神
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丿Shine_可乐

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 求助做光刻的大神 已有1人参与

本人光刻菜鸟，刚入门。最近我用光刻做一个直径为2μm的圆形图案，但是显影出来要么就是光刻胶被显掉了，要么就是显不出图案来，比较好的结果就是显出了图案，可是用SEM拍出来的直径是大于2微米的。工艺参数如显影时间，曝光时间，显影液浓度这些能改变的都改变了，还是做不出来。。。求大神帮忙
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1楼 2015-03-05 16:49:39
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looor

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你用的什么机台？
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安心工作
2楼2015-03-05 16:59:19
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looor

木虫 (小有名气)
★
keailinger: 金币+1, 专家看门道，外行看热闹。感谢虫子发帖应助，欢迎常来工艺技术版，积极应助和发帖交流都有惊喜的哦！ 2015-03-05 17:20:03
曝光之前确认过曝光剂量和焦面吗？
PR多厚？+还是-？
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安心工作
3楼2015-03-05 17:02:31
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丿Shine_可乐

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by looor at 2015-03-05 17:02:31
曝光之前确认过曝光剂量和焦面吗？
PR多厚？+还是-？

光刻机是学院的，接触式曝光的那种，PR大概1微米厚，用的正胶，说明书上说曝光剂量是55mJ/cm2，但是我不会换算成曝光时间。。。焦面是什么？
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4楼2015-03-05 17:20:22
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