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kevin123581金虫 (正式写手)
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200nm厚度薄膜的深度剖析
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对于200nm （400nm/ 800nm）左右的薄膜做深度剖析什么设备比较合适呢？ 我想要测量的其实主要是物质在深度方向的含量比。 比如C和Si. 我用过cold SEM+EDS，但是对于200nm的薄膜，图像移动比较厉害，测量完全不准确； tof-sims可做深度分析，但是貌似含量比也不好弄。 更复杂一点的是，我薄膜由Si单质和SiO2组成，外加其他一些杂质，可有有办法区分Si和SiO2的含量比呢？ 谢谢大家 |
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