应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 200nm厚度薄膜的深度剖析
192/2返回列表上一页12
查看: 2777  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by papaverme at 2015-01-08 18:16:12
可以包埋、减薄，制成截面的TEM样品，然后STEM+EDS或者EELS。

谢谢
回复此楼
11楼2015-01-09 13:45:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-01-08 20:05:50
离子枪结合XPS吧，SIMS不定量的，半定量用XPS，透射感觉意义不大，Si的话可以XPS看价态不同来区分

谢谢。
以前用SIMS测过Si和C的，但是那个是特殊情况，相对含量能计算出来。
现在物质是Si和玻璃按照一定比例曲线混合的，玻璃里面杂质含量有太多。
但是想测量深度方向的Si和玻璃含量比，这里sims貌似就不好用了。
XPS我没用过，但是听说玻璃速率很慢，厚度大一点的话（比如400nm/800nm）会很慢，而且会损坏设备什么的？
赞一下 回复此楼
12楼2015-01-09 13:48:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
12楼: Originally posted by kevin123581 at 2015-01-09 13:48:03
谢谢。
以前用SIMS测过Si和C的，但是那个是特殊情况，相对含量能计算出来。
现在物质是Si和玻璃按照一定比例曲线混合的，玻璃里面杂质含量有太多。
但是想测量深度方向的Si和玻璃含量比，这里sims貌似就不好用了 ...

XPS和SIMS差不多的，只不过一个是离子信号一个是光电子，都是表面信号，一微米以下还是可以做的，只不过刻蚀时间是会长一点，但是测一个系列一天肯定也能做完了应该
赞一下 回复此楼
13楼2015-01-09 14:36:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dwysd

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by kevin123581 at 2015-01-09 13:44:36
谢谢，这个我也问过别人，但是貌似说XPS的剥离速率很慢什么的...

2kV条件下，每分钟5-10nm，还慢么？如果是金属材料，还要快几1、2倍。
赞一下 回复此楼
14楼2015-01-09 15:04:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)
blessing
回复此楼
15楼2015-01-09 15:12:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-01-09 14:36:07
XPS和SIMS差不多的，只不过一个是离子信号一个是光电子，都是表面信号，一微米以下还是可以做的，只不过刻蚀时间是会长一点，但是测一个系列一天肯定也能做完了应该...

学校只有tof-sims，操作员告诉我测不出si和siO2的相对含量，或者说非常不准确。
XPS是有的，我就是不晓得能用不
赞一下 回复此楼
16楼2015-01-14 15:49:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by dwysd at 2015-01-09 15:04:06
2kV条件下，每分钟5-10nm，还慢么？如果是金属材料，还要快几1、2倍。...

我是si和玻璃混合的。非金属。
不过这个速率还是可以接受的，谢谢
赞一下 回复此楼
17楼2015-01-14 15:51:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
16楼: Originally posted by kevin123581 at 2015-01-14 15:49:22
学校只有tof-sims，操作员告诉我测不出si和siO2的相对含量，或者说非常不准确。
XPS是有的，我就是不晓得能用不...

SIMS定量需要有标准样品校正的，一般情况很难做定量确实，去问下吧，我想不到啥好办法了
赞一下 回复此楼
18楼2015-01-14 15:59:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
18楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-01-14 15:59:11
SIMS定量需要有标准样品校正的，一般情况很难做定量确实，去问下吧，我想不到啥好办法了...

恩，我用过一次tof-sims，那个特殊情况，操作员说可以做。这个他直接说基本不靠谱，所以我来问下。
XPS我没做过，但是上面有人说可以测价态的深度剖析，看起来比sims可行性大多了。等xps操作员回来我去问下，谢谢了
赞一下 回复此楼
19楼2015-01-16 16:38:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 kevin123581 的主题更新
192/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[职场人生] 40+中年人失业后，还能找到好工作吗？ +11 xqy2009 2026-10-13 13/650 2026-10-15 21:32 by bear2007
[有机交流] 用NBS溴化时溶剂除了CCl4外还有什么 +3 18834002860 2026-10-12 6/300 2026-10-15 14:30 by 长沙摩尔信息科�
[基金申请] 申请科研项目纯靠实力能成功吗？ 200+7 David1982 2026-10-13 11/550 2026-10-15 10:30 by zyqchem
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +11 Isak0320 2026-10-12 15/750 2026-10-14 21:55 by 猫鱼不是鱼
[论文投稿] 二审4个多月了还是Awaiting Reviewer Scores 10+3 纳斯达克ML 2026-10-11 4/200 2026-10-14 17:30 by babero
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +8 wangyl_123 2026-10-10 13/650 2026-10-14 15:12 by zuesli
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭