| 查看: 2002 | 回复: 18 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
kevin123581金虫 (正式写手)
|
[交流]
200nm厚度薄膜的深度剖析
|
||
|
对于200nm （400nm/ 800nm）左右的薄膜做深度剖析什么设备比较合适呢？ 我想要测量的其实主要是物质在深度方向的含量比。 比如C和Si. 我用过cold SEM+EDS，但是对于200nm的薄膜，图像移动比较厉害，测量完全不准确； tof-sims可做深度分析，但是貌似含量比也不好弄。 更复杂一点的是，我薄膜由Si单质和SiO2组成，外加其他一些杂质，可有有办法区分Si和SiO2的含量比呢？ 谢谢大家 |
回复此楼
gxytju2008
专家顾问 (文坛精英)
-
专家经验: +1654 - MN-EPI: 2
- 应助: 4104 (副教授)
- 贵宾: 0.053
- 金币: 47739.2
- 散金: 4089
- 红花: 503
- 帖子: 14990
- 在线: 7307.6小时
- 虫号: 1111232
- 注册: 2010-09-29
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
- 管辖: 微米和纳米
18楼2015-01-14 15:59:11
dwysd
木虫 (著名写手)
- 应助: 66 (初中生)
- 金币: 3067.2
- 散金: 310
- 红花: 8
- 帖子: 1975
- 在线: 589.2小时
- 虫号: 538838
- 注册: 2008-04-03
- 专业: 半导体材料
2楼2015-01-08 16:48:41
papaverme
铁杆木虫 (正式写手)
- MN-EPI: 4
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 11021.4
- 红花: 15
- 帖子: 654
- 在线: 535.5小时
- 虫号: 408325
- 注册: 2007-06-21
- 专业: 表面、形态与形貌分析
3楼2015-01-08 18:16:12
gxytju2008
专家顾问 (文坛精英)
-
专家经验: +1654 - MN-EPI: 2
- 应助: 4104 (副教授)
- 贵宾: 0.053
- 金币: 47739.2
- 散金: 4089
- 红花: 503
- 帖子: 14990
- 在线: 7307.6小时
- 虫号: 1111232
- 注册: 2010-09-29
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
- 管辖: 微米和纳米
4楼2015-01-08 20:05:50