| 查看: 2544 | 回复: 18 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
kevin123581金虫 (正式写手)
|
[交流]
200nm厚度薄膜的深度剖析
|
||
|
对于200nm （400nm/ 800nm）左右的薄膜做深度剖析什么设备比较合适呢？ 我想要测量的其实主要是物质在深度方向的含量比。 比如C和Si. 我用过cold SEM+EDS，但是对于200nm的薄膜，图像移动比较厉害，测量完全不准确； tof-sims可做深度分析，但是貌似含量比也不好弄。 更复杂一点的是，我薄膜由Si单质和SiO2组成，外加其他一些杂质，可有有办法区分Si和SiO2的含量比呢？ 谢谢大家 |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有121人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 有关二氧化钛薄膜的颜色与厚度关系
已经有6人回复
- 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？
已经有35人回复
- 请问XRD测试薄膜的最小厚度需要多少？
已经有4人回复
- FTIR与FTIR-ATR的测量深度
已经有7人回复
- 薄膜材料的XRD测试对薄膜厚度有什么要求
已经有8人回复
- 请问大概200nm的薄膜，XRD怎么表征，我想知道其是什么物相，晶型是什么
已经有28人回复
- 请教：如何刻蚀FTO薄膜？（或如何测定FTO表层薄膜的厚度）
已经有16人回复
- 【求助】想获得一个200nm左右（150nm---300nm）的PDMS薄膜
已经有11人回复
- 材料万能拉伸测试，薄膜要制成什么样的 厚度 宽度 都有什么要求！！！谢谢了
已经有6人回复
- 求问：薄膜厚度的测试方法、仪器
已经有20人回复
- 【请教】如何测微米纳米量级薄膜的确切厚度
已经有7人回复
- 【求助】薄膜厚度和薄膜密度怎么测量啊
已经有4人回复
- 【求助】紫外光谱求薄膜带隙及厚度
已经有9人回复
papaverme
铁杆木虫 (正式写手)
- MN-EPI: 4
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 11021.4
- 红花: 15
- 帖子: 654
- 在线: 535.5小时
- 虫号: 408325
- 注册: 2007-06-21
- 专业: 表面、形态与形貌分析
3楼2015-01-08 18:16:12
dwysd
木虫 (著名写手)
- 应助: 66 (初中生)
- 金币: 3067.2
- 散金: 310
- 红花: 8
- 帖子: 1975
- 在线: 589.2小时
- 虫号: 538838
- 注册: 2008-04-03
- 专业: 半导体材料
2楼2015-01-08 16:48:41
gxytju2008
专家顾问 (文坛精英)
-
专家经验: +1654 - MN-EPI: 2
- 应助: 4106 (副教授)
- 贵宾: 0.053
- 金币: 47554.2
- 散金: 4089
- 红花: 503
- 帖子: 15006
- 在线: 7338.3小时
- 虫号: 1111232
- 注册: 2010-09-29
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
- 管辖: 微米和纳米
4楼2015-01-08 20:05:50
阿Q~~
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 77 (初中生)
- 金币: 33343.6
- 红花: 107
- 帖子: 36186
- 在线: 1028.1小时
- 虫号: 3237212
- 注册: 2014-05-27
- 性别: MM
- 专业: 宇宙学
5楼2015-01-09 09:55:42
