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几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？ 已有23人参与
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| 在玻璃衬底上旋涂成膜，厚度<10nm，用什么方法能测出具体厚度来？多谢了！ |
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4楼2014-10-01 23:39:16
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14楼2014-10-03 17:16:38
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2楼2014-10-01 13:30:35
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【答案】应助回帖
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膜厚测试太简单了吧。。。。。 1、台阶仪：顾名思义，需要有台阶，旋涂的可以用胶带做出一个台阶，但是这么薄做出的台阶也是不准的，台阶仪的精度也不是很高，基本上几个纳米厚测试都不准，所以这个方法只能试试，不能认定就是这么厚； 2、椭偏仪：需要知道一些材料满足的色算方程，根据材料的不同建立模型，测试的精确度依赖于模型的建立合不合适，不合适的模型测试基本也会偏差很多；精度比较高，基本都在1A 3、SEM：切个截面看一下最直接，简单方便，精度也很高；主要难度在于制备样品时别把截面划伤 4、AFM测表面形貌用过，不知道测厚度是否可行，应该也需要有台阶；其他的就不太熟悉了 |
16楼2014-10-05 13:33:14
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