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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？
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落叶满长安

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

以为SEM截面测试最直观。

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21楼2014-10-05 18:55:17
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150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用手术刀在膜面上划痕，然后用原子力显微镜看划痕深度。台阶仪可能测不准，太薄了。
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22楼2014-10-05 19:53:40
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by 1989千年雪 at 2014-10-05 10:34:07
我们实验室是把样品从中间切断，用扫描电子显微镜SEM,测薄膜样品的截面，观察厚度的。

送二次电子像还是背散射？感觉这样测量误差较大啊。。对焦对误差影响太大，特别是膜厚比较薄时！
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kakakakakka
23楼2014-10-06 15:40:40
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
20楼: Originally posted by bearjie at 2014-10-05 18:46:12
台阶仪的误差都10-20nm，是没法测的，用椭偏仪或者xrr测试比较准确。如果要用xrr，可和我讨论。我可以测

请教一下xrr是什么仪器？楼主是哪的？在下也需要做厚度研究，前期用SEM拍断面，误差较大，请问你是怎么表征厚度的呢？
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kakakakakka
24楼2014-10-06 15:43:45
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菲儿fanger

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

可以将你涂的东西洗掉再测吖。先测没有洗掉的厚度，再用乙酯或者其他有机的相容相似的溶剂将你涂的东西洗掉再测，比较方便。个人建议，楼主考虑。
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25楼2014-10-06 16:16:15
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

原子力显微镜最靠谱
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麦麦爸爸爱小牛
26楼2014-10-06 16:54:53
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seaskyzdw

铁杆木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

使用近场扫描显微镜，用倏逝波的方法能测出来
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前进，前进，向前进！！
27楼2014-10-06 17:07:55
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haibara0521

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

afm或者tem看截面

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28楼2014-10-06 19:40:21
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by dwysd at 2014-10-02 11:21:39
旋涂法制备的薄膜，表面粗糙度已经超过几个纳米了，用台阶仪根本测不出来。AFM也很难测出来，AFM在测试范围小于100 nm时，对粗糙度的要求也很高，旋涂法制备的薄膜我认为达不到AFM的要求。如果你确定用旋涂法制备出 ...

大神，我磁控溅射的薄膜，基底硅片，大约200nm左右，有什么方法侧厚度准确性高？
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kakakakakka
29楼2014-10-07 11:26:30
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
29楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 11:26:30
大神，我磁控溅射的薄膜，基底硅片，大约200nm左右，有什么方法侧厚度准确性高？...

透明的椭偏最省事，不透明的sem吧，200nm已经足够厚了
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30楼2014-10-07 14:26:53
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