24小时热门版块排行榜    

查看: 7232  |  回复: 35

落叶满长安

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

以为SEM截面测试最直观。

[ 发自小木虫客户端 ]
21楼2014-10-05 18:55:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用手术刀在膜面上划痕,然后用原子力显微镜看划痕深度。台阶仪可能测不准,太薄了。
22楼2014-10-05 19:53:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanzijing

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
15楼: Originally posted by 1989千年雪 at 2014-10-05 10:34:07
我们实验室是把样品从中间切断,用扫描电子显微镜SEM,测薄膜样品的截面,观察厚度的。

送二次电子像还是背散射?感觉这样测量误差较大啊。。对焦对误差影响太大,特别是膜厚比较薄时!
kakakakakka
23楼2014-10-06 15:40:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanzijing

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
20楼: Originally posted by bearjie at 2014-10-05 18:46:12
台阶仪的误差都10-20nm,是没法测的,用椭偏仪或者xrr测试比较准确。如果要用xrr,可和我讨论。我可以测

请教一下xrr是什么仪器?楼主是哪的?在下也需要做厚度研究,前期用SEM拍断面,误差较大,请问你是怎么表征厚度的呢?
kakakakakka
24楼2014-10-06 15:43:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

菲儿fanger

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

可以将你涂的东西洗掉再测吖。先测没有洗掉的厚度,再用乙酯或者其他有机的相容相似的溶剂将你涂的东西洗掉再测,比较方便。个人建议,楼主考虑。
25楼2014-10-06 16:16:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

原子力显微镜最靠谱
麦麦爸爸爱小牛
26楼2014-10-06 16:54:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

seaskyzdw

铁杆木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

使用近场扫描显微镜,用倏逝波的方法能测出来
前进,前进,向前进!!
27楼2014-10-06 17:07:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haibara0521

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

afm或者tem看截面

[ 发自小木虫客户端 ]
28楼2014-10-06 19:40:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanzijing

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
12楼: Originally posted by dwysd at 2014-10-02 11:21:39
旋涂法制备的薄膜,表面粗糙度已经超过几个纳米了,用台阶仪根本测不出来。AFM也很难测出来,AFM在测试范围小于100 nm时,对粗糙度的要求也很高,旋涂法制备的薄膜我认为达不到AFM的要求。如果你确定用旋涂法制备出 ...

大神,我磁控溅射的薄膜,基底硅片,大约200nm左右,有什么方法侧厚度准确性高?
kakakakakka
29楼2014-10-07 11:26:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
29楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 11:26:30
大神,我磁控溅射的薄膜,基底硅片,大约200nm左右,有什么方法侧厚度准确性高?...

透明的椭偏最省事,不透明的sem吧,200nm已经足够厚了
30楼2014-10-07 14:26:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 shenpingccut 的主题更新
信息提示
请填处理意见