应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？
363/4返回列表上一页1234下一页
查看: 7232  |  回复: 35
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

落叶满长安

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

以为SEM截面测试最直观。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
21楼2014-10-05 18:55:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

150465250

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用手术刀在膜面上划痕，然后用原子力显微镜看划痕深度。台阶仪可能测不准，太薄了。
赞一下 回复此楼
22楼2014-10-05 19:53:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by 1989千年雪 at 2014-10-05 10:34:07
我们实验室是把样品从中间切断，用扫描电子显微镜SEM,测薄膜样品的截面，观察厚度的。

送二次电子像还是背散射？感觉这样测量误差较大啊。。对焦对误差影响太大，特别是膜厚比较薄时！
赞一下 回复此楼
kakakakakka
23楼2014-10-06 15:40:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
20楼: Originally posted by bearjie at 2014-10-05 18:46:12
台阶仪的误差都10-20nm，是没法测的，用椭偏仪或者xrr测试比较准确。如果要用xrr，可和我讨论。我可以测

请教一下xrr是什么仪器？楼主是哪的？在下也需要做厚度研究，前期用SEM拍断面，误差较大，请问你是怎么表征厚度的呢？
赞一下 回复此楼
kakakakakka
24楼2014-10-06 15:43:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

菲儿fanger

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

可以将你涂的东西洗掉再测吖。先测没有洗掉的厚度，再用乙酯或者其他有机的相容相似的溶剂将你涂的东西洗掉再测，比较方便。个人建议，楼主考虑。
赞一下 回复此楼
25楼2014-10-06 16:16:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

原子力显微镜最靠谱
赞一下 回复此楼
麦麦爸爸爱小牛
26楼2014-10-06 16:54:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

seaskyzdw

铁杆木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

使用近场扫描显微镜，用倏逝波的方法能测出来
赞一下 回复此楼
前进，前进，向前进！！
27楼2014-10-06 17:07:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haibara0521

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

afm或者tem看截面

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
28楼2014-10-06 19:40:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by dwysd at 2014-10-02 11:21:39
旋涂法制备的薄膜，表面粗糙度已经超过几个纳米了，用台阶仪根本测不出来。AFM也很难测出来，AFM在测试范围小于100 nm时，对粗糙度的要求也很高，旋涂法制备的薄膜我认为达不到AFM的要求。如果你确定用旋涂法制备出 ...

大神，我磁控溅射的薄膜，基底硅片，大约200nm左右，有什么方法侧厚度准确性高？
赞一下 回复此楼
kakakakakka
29楼2014-10-07 11:26:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
29楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 11:26:30
大神，我磁控溅射的薄膜，基底硅片，大约200nm左右，有什么方法侧厚度准确性高？...

透明的椭偏最省事，不透明的sem吧，200nm已经足够厚了
赞一下 回复此楼
30楼2014-10-07 14:26:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 shenpingccut 的主题更新
363/4返回列表上一页1234下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭