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shenpingccut

新虫 (初入文坛)

[求助] 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来? 已有23人参与

在玻璃衬底上旋涂成膜,厚度<10nm,用什么方法能测出具体厚度来?多谢了!
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yanzijing

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
20楼: Originally posted by bearjie at 2014-10-05 18:46:12
台阶仪的误差都10-20nm,是没法测的,用椭偏仪或者xrr测试比较准确。如果要用xrr,可和我讨论。我可以测

请教一下xrr是什么仪器?楼主是哪的?在下也需要做厚度研究,前期用SEM拍断面,误差较大,请问你是怎么表征厚度的呢?
kakakakakka
24楼2014-10-06 15:43:45
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查看全部 36 个回答

洗脸

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
扫描电镜或者透射电镜也许可以

[ 发自小木虫客户端 ]
从容
2楼2014-10-01 13:30:35
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chrishare

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用AFM吧... 电镜扫截面应该也可以  台阶仪
3楼2014-10-01 14:47:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
椭偏仪-利用材料的折射率不同可以测试
4楼2014-10-01 23:39:16
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