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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？
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shenpingccut

新虫 (初入文坛)

[求助] 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？ 已有23人参与

在玻璃衬底上旋涂成膜，厚度<10nm，用什么方法能测出具体厚度来？多谢了！
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1楼 2014-10-01 10:49:23
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
旋涂法制备的薄膜，表面粗糙度已经超过几个纳米了，用台阶仪根本测不出来。AFM也很难测出来，AFM在测试范围小于100 nm时，对粗糙度的要求也很高，旋涂法制备的薄膜我认为达不到AFM的要求。如果你确定用旋涂法制备出了几个纳米的连续致密层状结构的薄膜，建议用HRTEM去测试截面样品，可以测得厚度，但是由于没有标准的垂直度参照物，所以测试的厚度会有偏差。一般小于10%。
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12楼2014-10-02 11:21:39
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洗脸

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
扫描电镜或者透射电镜也许可以

[ 发自小木虫客户端 ]
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从容
2楼2014-10-01 13:30:35
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chrishare

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用AFM吧... 电镜扫截面应该也可以  台阶仪
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3楼2014-10-01 14:47:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
椭偏仪－利用材料的折射率不同可以测试
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4楼2014-10-01 23:39:16
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